淺談激光干涉儀的分類及原理
2020-12-22標(biāo)簽:激光干涉儀
激光干涉儀原理——固體激光干涉儀
固體激光干涉儀具有器件小、堅(jiān)固、使用方便、輸出功率大的特點(diǎn)。這種激光干涉儀的工作介質(zhì)是在作為基質(zhì)材料的晶體或玻璃中均勻摻入少量激活離子,除了前面介紹用紅寶石和玻璃外,常用的還有釔鋁石榴石(YAG)晶體中摻入三價(jià)釹離子的激光干涉儀,它發(fā)射1060nm的近紅外激光。固體激光干涉儀一般連續(xù)功率可達(dá)100W以上,脈沖峰值功率可達(dá)109W。
激光干涉儀原理——半導(dǎo)體激光干涉儀
半導(dǎo)體激光干涉儀是以半導(dǎo)體材料作為工作介質(zhì)的。這種激光干涉儀體積小、質(zhì)量輕、壽命長、結(jié)構(gòu)簡單而堅(jiān)固。常用材料有砷化鎵(GaAs)、硫化鎘(CdS)、磷化銦(InP)、硫化鋅(ZnS)等。激勵(lì)方式有電注入、電子束激勵(lì)和光泵浦三種形式。
半導(dǎo)體激光干涉儀件,可分為同質(zhì)結(jié)、單異質(zhì)結(jié)、雙異質(zhì)結(jié)等幾種。同質(zhì)結(jié)激光干涉儀和單異質(zhì)結(jié)激光干涉儀室溫時(shí)多為脈沖器件,而雙異質(zhì)結(jié)激光干涉儀室溫時(shí)可實(shí)現(xiàn)連續(xù)工作。這種激光干涉儀的特點(diǎn)是體積小,能耗低,功率低(因此對人眼相對安全一些),能在常溫下運(yùn)行。
激光干涉儀原理——氣體激光干涉儀
氣體激光干涉儀具有結(jié)構(gòu)簡單、造價(jià)低;操作方便;工作介質(zhì)均勻,光束質(zhì)量好;以及能長時(shí)間較穩(wěn)定地連續(xù)工作的有點(diǎn)。
工作物質(zhì)主要以氣體狀態(tài)進(jìn)行發(fā)射的激光干涉儀在常溫常壓下是氣體,有的物質(zhì)在通常條件下是液體(如非金屬粒子的有水、汞),及固體(如金屬離子結(jié)構(gòu)的銅,鎘等粒子),經(jīng)過加熱使其變?yōu)檎魵猓眠@類蒸氣作為工作物質(zhì)的激光干涉儀,統(tǒng)歸氣體激光干涉儀之中。氣體激光干涉儀中除了發(fā)出激光的工作氣體外,為了延長器件的工作壽命及提高輸出功率,還加入一定量的輔助氣體與發(fā)光的工作氣體相混合。
氣體激光干涉儀大多應(yīng)用電激勵(lì)發(fā)光,即用直流,交流及高頻電源進(jìn)行氣體放電,兩端放電管的電壓增壓時(shí)可加速電子,帶有一定能量,在工作物質(zhì)中運(yùn)動(dòng)的電子與粒子(氣體的原子或分子)碰撞時(shí)將自身的能量轉(zhuǎn)移給對方,使分子或原子被激發(fā)到某一高能級上而形成粒子數(shù)反轉(zhuǎn),產(chǎn)生激光。氣體激光干涉儀與固體激光干涉儀相比較,兩者中以氣體激光干涉儀的結(jié)構(gòu)相對簡單得多,造價(jià)較低,操作簡便,但是輸出功率常較小。因氣體激光干涉儀中的工作物質(zhì)不同。因此分中性(惰性)原子、離子氣體、分子氣體三種激光干涉儀。
激光干涉儀原理——液體激光干涉儀
常用的是染料激光干涉儀,采用有機(jī)染料最為工作介質(zhì)。大多數(shù)情況是把有機(jī)染料溶于溶劑中(乙醇、丙酮、水等)中使用,也有以蒸氣狀態(tài)工作的。利用不同染料可獲得不同波長激光(在可見光范圍)。
染料激光干涉儀一般使用激光作泵浦源,例如常用的有氬離子激光干涉儀等。液體激光干涉儀工作原理比較復(fù)雜。輸出波長連續(xù)可調(diào),且覆蓋面寬是它的優(yōu)點(diǎn),使它也得到廣泛應(yīng)用。
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SJ6000機(jī)床激光干涉檢測儀利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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SJ6000機(jī)床導(dǎo)軌激光干涉測量儀利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)。結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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SJ6000機(jī)床激光干涉精密測量系統(tǒng)集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,產(chǎn)品采用進(jìn)口高性能氦氖激光器,具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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SJ6000高精度激光干涉儀測量設(shè)備具有動(dòng)態(tài)測量與分析功能,包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等,可進(jìn)行振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等,廣泛應(yīng)用于機(jī)床、三坐標(biāo)、機(jī)器人、3D打印設(shè)備、自動(dòng)化設(shè)備、線性位移平臺(tái)、精密機(jī)械設(shè)備、精密檢測儀器等領(lǐng)域。
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sj6000機(jī)床激光干涉測量校準(zhǔn)系統(tǒng)具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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0.05ppm機(jī)床激光干涉儀利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn),在機(jī)床加工領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用。它集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體,采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。
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SJ6000機(jī)床激光干涉測量校準(zhǔn)儀具有高測量精度和重復(fù)性,可以實(shí)現(xiàn)非接觸式測量方式,不會(huì)對被測量物體造成損傷。它結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。
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SJ6000激光干涉儀測量雙直線導(dǎo)軌安裝平行度采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù),可實(shí)現(xiàn)高精度、抗擾力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)。
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SJ6000激光干涉位移測量儀在動(dòng)態(tài)測量軟件配合下,可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測量與性能檢測,以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析,如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。
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SJ6000導(dǎo)軌誤差激光干涉測量儀具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn),結(jié)合不同的光學(xué)鏡組,可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。