單頻激光干涉儀的原理介紹
2020-12-30標簽：激光干涉儀
激光具有高強度、高度方向性、空間同調性、窄帶寬和高度單色性等優點。常用來測量長度的干涉儀。以激光波長為已知長度、利用邁克耳遜干涉系統(見激光測長技術)測量位移的通用長度測量工具。
激光干涉儀有單頻的和雙頻的兩種。單頻的是在20世紀60年代中期出現的,最初用于檢定基準線紋尺,后又用于在計量室中精密測長。雙頻激光干涉儀是1970年出現的，它適宜在車間中使用。激光干涉儀在極接近標準狀態(溫度為20℃、大氣壓力為101325帕、相對濕度59%、CO2含量0.03%)下的測量精確度很高，可達1×10-7。
激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機或測量儀器的校正工作。
激光干涉儀原理——單頻激光干涉儀
如下圖，單頻激光干涉儀的工作原理：從激光器發出的光束，經擴束準直后由分光鏡分為兩路，并分別從固定反射鏡和可動反射鏡反射回來會合在分光鏡上而產生干涉條紋。當可動反射鏡移動時，干涉條紋的光強變化由接受器中的光電轉換元件和電子線路等轉換為電脈沖信號，經整形、放大后輸入可逆計數器計算出總脈沖數，再由電子計算機按計算式
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