上海洪柯自動(dòng)化儀表公司推出的D500/D600氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller）/氣體質(zhì)量流量計(jì)(Mass Flow Metre)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空、太陽(yáng)能、分析儀器、光電、制氣、醫(yī)療、電力、化工等各個(gè)領(lǐng)域。產(chǎn)品具有精度高、重復(fù)性好、穩(wěn)定性高、性價(jià)比高、工作壓力范圍寬、使用壽命長(zhǎng)等特點(diǎn)。
流量規(guī)格（N2）： | (0~5、10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM；(0~1、2、3、5、10、20、30、50、100)SLM |
準(zhǔn)確度： | ±1%F.S. |
線性： | ±0.5%F.S. |
重復(fù)精度： | ±0.2%F.S. |
響應(yīng)時(shí)間： | ≤1Sec |
工作壓差范圍： | (0.05~0.3)MPa |
大耐壓： | 10MPa |
工作環(huán)境溫度： | 5~65℃ |
電氣連接： | 8 Pin（Mini S Plug） |
輸入/輸出信號(hào) | Digital：RS232/RS485； Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA |
電源： | 7~16VDC 1A；或24VDC500mA |
標(biāo)準(zhǔn)接頭： | Swagelokφ3,φ6,φ10…；Swagelok 1/8″,1/4″…； VCRφ3,φ6…；VCR 1/8″,1/4″… |
外形尺寸 | 130*28*121mm |
重量約 | 1.0kg
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