HUGLE藤宮USG-401S,半導體基板用單面清潔器
說明：
是省空間和節能型的超聲波底板清潔器。
實現了緊湊設計的清潔頭的，通過空氣流量控制，單元也實現了省電輕化。
適合FPD、有機EL、PV面板的上面清洗。
有效寬度超過100～3000毫米，可以對應大小不同的基板
HUGLE藤宮USG-401S,半導體基板用單面清潔器
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說明：
是省空間和節能型的超聲波底板清潔器。
實現了緊湊設計的清潔頭的，通過空氣流量控制，單元也實現了省電輕化。
適合FPD、有機EL、PV面板的上面清洗。
有效寬度超過100～3000毫米，可以對應大小不同的基板
規格：
1400mm基板比 | USG-401S | メリット |
ヘッド寸法 | ▲５０％ | 省スペース |
ブロワーユニット寸法 | ▲１２％ | 省スペース |
ブロワーユニット重量 | ▲２０％ | 軽量化 |
ブロワー定格 | ▲２５％ | 小型化 |
消費電力 | ▲２２％ | 省電力 |
ランニングコスト | ▲２０％ | 省エネ |
イニシャルコスト | ▲２０％ | 低価格 |
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