密析爾高純氣露點(diǎn)變送器氣體分析儀，在很多超純氣應(yīng)用，諸如半導(dǎo)體工業(yè)中，氣體中殘余的濕氣對(duì)于過程處理的正常運(yùn)作至關(guān)重要。一直以來，對(duì)濕氣的持續(xù)追蹤測(cè)量都是個(gè)難點(diǎn)，需要用到復(fù)雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術(shù)。然而密析爾儀表目前則向市場(chǎng)推出了簡(jiǎn)單的、經(jīng)濟(jì)的、相當(dāng)有效的方案，用來在線測(cè)量露點(diǎn)值，下限低至驚人的-120°C (相當(dāng)于不到 1 ppbV)。
Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點(diǎn)傳感器生產(chǎn)和校驗(yàn)的專業(yè)經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)工業(yè)化的材料和制造流程，打造出的適用于半導(dǎo)體制造行業(yè)和超純氣體應(yīng)用的低價(jià)位變送器。
亮點(diǎn)
- 測(cè)量下限 -120°C 露點(diǎn) (1 ppbV)
- 測(cè)量穩(wěn)定，重復(fù)性好
- 高度集成的采樣裝置
- 模擬和數(shù)字輸出
- 安裝簡(jiǎn)便
- VCR 過程接口
- 設(shè)計(jì)緊湊小巧
- 顯示/報(bào)警單元可選
密析爾高純氣露點(diǎn)變送器氣體分析儀，技術(shù)指標(biāo)
| 傳感器 | |
| 傳感器類型 | 密析爾陶瓷濕度傳感器 |
| 量程 | -120 ~ -40°C 露點(diǎn) (校驗(yàn)到 -100 ~ -40°C) |
| 精度 | ±1°C -40 ~ -60°C; ±2°C -61 ~ -100°C; ±4°C -101 ~ -120°C (估算值) |
| 分辨率 | 0.1°C -40 ~ -79.9°C; 1°C -80 ~ -100°C; 1 ~ 3°C -100 ~ -120°C |
| 壓力 | 低 10-9 torr; 大 24 MPa |
| 氣體流量 | 1 ~ 5 Nl/min |
| 電氣 | |
| 電源 | 通常 24 V DC, 低10 V ~ 高28 V , 大電流 25 mA |
| 輸出 | 4-20 mA 輸出, 對(duì)應(yīng)范圍可由軟件調(diào)整, 調(diào)整量程從 1 ~ 80°C (標(biāo)配提供) 大負(fù)載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8) |
| 輸出出錯(cuò)狀態(tài) | 標(biāo)準(zhǔn)輸出出錯(cuò)信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限 |
| 機(jī)械性能 | |
| 傳感器套筒 | 不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內(nèi)拋光 |
| 氣路連接端口 | Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口 Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口 |
| 安裝配置 | Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長(zhǎng), 氣路端口的端面密封. 無需預(yù)留管路空隙 底座上有 2 個(gè) M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對(duì)面橫豎間距均為 20 x 20mm Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中 |
| 尺寸 | Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm Pura Sensor 型: 132 x 35mm |
| 重量 | Premium 或 OEM 型: 450g Pura Sensor 型: 180g |
| 包裝 | Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封 Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝 所有選配件: 獨(dú)立包裝運(yùn)輸 Sensor 型在傳感芯片端自帶保護(hù)套,用以運(yùn)輸及操作 |
