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  • Tousimis C系列落地式臨界點干燥儀

Tousimis C系列落地式臨界點干燥儀

參考價
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具體成交價以合同協議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地北京市
  • 更新時間2019-01-27
  • 廠商性質
  • 所在地區
  • 實名認證已認證
  • 產品數量58
  • 人氣值1723
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產地國產 加工定制
名稱:Tousimis C系列落地式臨界點干燥儀
型號:egasamdri®-938? Series C
產品編號:8788C
樣品室尺寸:8.5“(內徑)×1.25“(深)
樣品室容積:1162 ml
降溫時間:<5 min
溫度壓力范圍:- 30 ℃ ~ 60 ℃,0 ~ 2000 psi
Tousimis C系列落地式臨界點干燥儀 產品詳情

Tousimis Touchscreen Series C 系列是在原C系列落地式臨界點干燥儀多年成功經驗的基礎上,結合Tousimis獨立研發的觸屏控制界面全新推出的新一代產品。Touchscreen C 系列干燥儀具有高可靠性、高重復性、操作簡便的特點,采用*的專業觸屏軟件全自動控制,是提高MEMS研發與生產效率的*利器。

Tousimis Touchscreen Series C 系列產品特點:

  • 專為MEMS(Micro-Electro-Mechanical System)制備而設計的落地式全自動臨界點干燥儀,無塵室適用

  • 大可處理8"晶圓,每次多可處理5個晶圓

  • 標配HF相容晶圓架和10mm方型晶圓架

  • 標配樣品室內環,可適配不同直徑的晶片樣品,節省LCO2用量,縮短干燥時間,提高干燥效率

  • LCD觸控屏

  • 可編程觸屏控制界面,全自動控制

  • 多種默認處理程序,也可自定義程序并重復使用

  • 慢速充液功能,適用于各種易損樣品

  • “Stasis”程序用于處理較厚或較難干燥的樣品

  • 高效內部冷卻回路,快速降溫,節省40%LCO2

  • 內置式SOTER冷凝器用于分離乙醇和CO2,消除靜電及吹掃噪音

  • 外置兩級過濾系統,可過濾LCO2內0.08μm以上雜質

  • 外置吹掃過濾器,便于儀器維護

  • 非機械式吹掃攪拌技術,免維護

  • 內置壓力控制模塊,自動控制系統壓力和保持壓力穩定性

  • 精確參數控制,確保處理結果重復性

  • 樣品室設有照明燈及觀察窗,便于觀察樣品狀態

  • 無塵室防靜電兼容設計

  • 所有電氣部件符合UL、CE和U.S.Military標準

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