SF6氣體抽真空充氣裝置一體式回收裝置，由抽真空系統與壓縮系統、凈化系統、存儲系統及冷凝系統。SF6氣體回收凈化充氣裝置是用于SF6氣體絕緣電器設備的制造廠組成，使用運行科研等部門，對各種電器設備進行抽真空，對電器設備充入SF6氣體，并從使用或試驗的電器中回收SF6氣體，同時進行凈化處理壓縮貯存到貯罐。回收裝置適用于各種電壓等級的SF6電器及GIS組合電器等。 具有回收、充放、凈化、抽真空、貯存、灌瓶等綜合性功能，系統比較*。各功能的串聯或切換主要通過操作集中于面板一側的電控箱和球閥來完成。
回收裝置的基本工作原理是采用冷凍液化法。在回收時，利用壓縮機的抽吸性和壓縮性把SF6電器設備內一定壓力的SF6氣體吸入壓縮機，并壓縮至某一較高的壓力。同時利用R22制冷劑的低蒸發溫度特性，將較高溫度的SF6氣體冷卻至冷凝溫度進行液化、貯存。這樣連續抽吸至SF6壓縮機串聯運行，直至達到回收終壓力。
在充放時，首先利用本裝置的真空泵對SF6電器設備(或鋼瓶)和連接管路進行抽真空，SF6氣體抽真空充氣裝置真空泵然后直接利用壓差或利用壓縮機的抽吸性并造成一定的壓差將裝置貯存容器內的SF6充入SF6電器設備，直至達到所需的工作壓力。在需灌瓶時則同時利用如前所述的R22制冷劑的特性，將液化的SF6直接灌入鋼瓶。
凈化功能是在完成上述回收、充放功能時同步完成的。 SF6氣體抽真空充氣裝置真空泵系統中設置了三只油分離器，分別安裝在真空泵出口一只及壓縮
機的出口二只，以有效去除SF6氣體所帶的油份。
??系統回路中設置了干燥過濾器，以保證進入貯存容器的SF6的純度并有效去除水分。過濾器帶有加熱再生裝置，可在抽真空下加熱再生，分子篩從而能反復使用。
