產品介紹潘寧冷陰極電離真空計 PEG100
優點
- 測量范圍廣,從 1 x 10-9 至 1 x 10-2 毫巴(7.5 x 10-10 至 7.5 x 10-3 托)
- 全金屬冷陰極傳感器(潘寧),帶陶瓷饋入裝置
- 創新的電極幾何形狀提供的點火屬性
- 等離子點火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險,即使在有氬氣的濺射運行中
- 陽極環和鈦陰極可輕松進行清潔或更換
- 小化真空計附近的磁場強度
- 用于電源接通和等離子體點火的 LED 指示器
- 對數模擬輸出信號
- 現場總線接口(Profibus DP、DeviceNet)允許使用網絡通信將真空計輕松集成到真空系統中
典型應用潘寧冷陰極電離真空計 PEG100
- 高真空壓力監控
- 蒸發濺射系統
- 高真空范圍內的一般真空測量和控制
- 主要代理業務 :
1、美國Inficon的石英晶體膜厚控制儀,氦質譜檢漏儀、真空規管、壓強控制儀、真空閥門、真空法蘭、四級質譜儀。
2、美國Varian分子泵、擴散泵、干泵、氦質譜檢漏儀、真空規管、真空閥門、真空法蘭。
3、美國Telemark電子槍、超低溫冷阱、880型石英晶體膜厚控制儀、晶振片。
4、日本日立公司的質量流量計(原美國AE)。
5、美國Angstrom Sciences 磁控濺射陰極和靶材、陰極翻新。
6、英國愛德華公司分子泵,機械泵,干泵,真空計,各種真空閥門