昆山國華電子等離子清洗機頻率
等離子清洗機在金屬、塑料凳行業應用廣泛。那等離子清洗機常用的頻率是哪些呢?
下面國華電子就帶您來認識
常用的等離子清洗機的等離子體激發頻率有三種:激發頻率為40HZ的等離子體為真空等離子體,13.56MHZ的等離子體為常壓寬幅等離子體,2.45GHZ的等離子體為大氣等離子體。
不同等離子清洗機的等離子體產生的偏壓是不一樣的,三種不同的等離子清洗機的等離子體機制不同。真空等離子體發生的反應為物理反應,常壓寬幅等離子體發生的反應既有化學反應又有物理反應,大氣則是化學反應。
真空等離子體清洗對被清潔表面產生的影響大,因而實際半導體生產應用中大多采用水平真空等離子清洗機。而常壓寬幅則應用于表面除膠、毛刺打磨等處理方面效果更佳,典型的等離子體物理清洗工藝是在反應腔體中加入氬氣作為輔助處理的等離子體清洗;氬氣本身是惰性氣體,等離子體的氬氣不和表面發生反應,而是通過離子轟擊使表面清潔。
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