系統(tǒng)包括手動(dòng)四點(diǎn)探針臺(tái)、二個(gè)四點(diǎn)探針頭、吉時(shí)利儀表(Keithley 2400)與軟件,以及一臺(tái)筆記本電腦 .
Pro4-840N configuration (系統(tǒng)架構(gòu))
l 電壓與電流(V/I)的量測(cè)結(jié)果會(huì)記錄在軟件內(nèi).
l 系統(tǒng)采用了美國(guó)ASTM 標(biāo)準(zhǔn)F84-99
l 測(cè)試方法的雙架構(gòu)測(cè)試方式以補(bǔ)償因?yàn)樗狞c(diǎn)探針頭間距可能不精確或量測(cè)接近導(dǎo)電層邊緣而造成的量測(cè)誤差.
l Signatone 同時(shí)也提供準(zhǔn)確度可追朔至美國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)局(NIST)的校準(zhǔn)片,適當(dāng)?shù)氖褂眯?zhǔn)片和QuadPro 提供的校準(zhǔn)程序,可確保系統(tǒng)的準(zhǔn)確性優(yōu)于1%.
l Pro4-840N 系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)范圍是1mΩ/□至800KΩ/□.
主要參數(shù):
探針臺(tái)尺寸:針對(duì)10-200mm 樣片;
吉時(shí)利儀表(Keithley 2400),量程范圍:1 m? (1x10-3)/□ to 800 K?(800x10+3)/□
Pro4 Software (軟件)
使用者只需輸入待測(cè)樣品的大小、形狀、待測(cè)樣品邊緣不包括部分的大小與量測(cè)點(diǎn)數(shù),Pro4 軟件會(huì)控制系統(tǒng)的量測(cè)、量測(cè)資料的擷取、顯示、打印與資料的輸出(Export),使用者可設(shè)定要顯示的參數(shù)(如電阻、片電阻或電壓/電流),也可以定義良品/不良品(Pass/Fail)的條件.
量測(cè)點(diǎn)會(huì)在軟件上以圖樣標(biāo)示出來,同時(shí)提醒使用者將探針移至待測(cè)點(diǎn).
量測(cè)結(jié)束,量測(cè)數(shù)據(jù)的平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、大值與小值會(huì)被標(biāo)示出來,同時(shí)可打印
量測(cè)數(shù)據(jù)含良品/不良品的報(bào)表.
- 變溫四探針電阻率測(cè)試儀的開發(fā)及本科教學(xué)實(shí)踐