Setra西特760高精度絕壓真空計
應用
● 半導體過程工具和裝置
● 實驗室和研究開發(fā)
● 實驗和測量
● 度量
● 分析化學系統(tǒng)
特點
■ 的熱穩(wěn)定性
■ 出眾的EMI/RFI 性能
■ 低價位
■ 小巧緊湊的結構
■ 耐腐蝕的Inconel® 濕部件
■ 多種壓力連接和電氣連接方式
■ 符合CE 標準
Setra西特760高精度絕壓真空計 Setra西特760高精度絕壓真空計
適用于與Inconel® 或 Inconel/ 不銹鋼相容的氣體
▲壓力范圍：0~10 Torr 至0~1000Torr，0~10 mbar/hpa 至0~1000mbar/hpa，0~2 psia 至0~20psia，0~2 kpa 至0~100kpa
介紹
Setra Model 760 電容壓力計是為精確的、可重復的真空測量而設計的壓力傳感器。滿量程范圍從10Torr 到1000Torr。測量單位可以是Torr，mbar/hpa，kpa 或psia。Model 760 的工作電壓是15VDC，輸出0~10VDC 或0~5VDC，輸出與壓力成線性關系，而且與氣體成分無關。電氣連接件可以是工業(yè)標準15 針D 型插座或6 位接線端子板。采用金屬外殼、巨涌和ESD 抑制元件以及輸入輸出的RFI 過濾等技術，Model 760 具有的EMI/RFI 性能。Model 760 有一個完整的滑面，很容易提供有精確的零點調節(jié)和量程調節(jié)的多匝電位計。Inconel® 材質適用于全部濕原料所以可測量腐蝕性氣體，另外可提供不同類型的壓力和真空接頭。Model 760 中高精度的壓力傳感元件VactronSensor，是在Setra 專力技術可變電容傳感技術基礎上發(fā)展來的。在敏感元件*有一個饋入裝置組件支持一個鄰近膜片后表面的圓電極。電極和膜片在一個低壓接近真空的空間內組成了一個可變電容。這一電容的變化被Setra *的集成電路檢測并被轉換成高精度的線性直流信號，該集成電路是根據(jù)西特專力技術負荷平衡原理設計的。Model 760 采用革新的傳感設計獲得了的零點穩(wěn)定性和大氣壓非敏感性。Model 760 傳感器包含了不易脆的或合成的部件，形成了與陶瓷式結構相似的電容式壓力計。
注：Setra 堅持嚴格的質量標準ANSI-Z540-1。此產品的標定源于NIST。
應用
● 半導體過程工具和裝置
● 實驗室和研究開發(fā)
● 實驗和測量
● 度量
● 分析化學系統(tǒng)
特點
■ 的熱穩(wěn)定性
■ 出眾的EMI/RFI 性能
■ 低價位
■ 小巧緊湊的結構
■ 耐腐蝕的Inconel® 濕部件
■ 多種壓力連接和電氣連接方式
■ 符合CE 標準
