日本KOFLOC 3200系列質量流量控制器：
應用于多個OEM設備場合，尤其適合微小流量測量，適用于燃氣低壓力、泄漏測試的低流量、半導體等使用，±15VDC供電性能穩定，0-5V模擬信號更加通用，可定制0.02-1SCCM微小流量。
特點：
- 配備溫度跟蹤式電流差檢測型流量傳感器，實現高精度，高速響應
- 采用常閉閥門，方向操作安全
- 采用隔膜閥，減少死體積
- F.1. SCCM分鐘流量支持（SR選項）
- 低壓差兼容燃氣控制（LP選項）
日本KOFLOC 3200系列質量流量控制器
性能參數：
電器連接：
警告
流量范圍附帶的規格（流量范圍，精度，響應性等）是N2或空氣轉換中的規格。
另外，生產規格條件是初級側小于300kPa，次級側向大氣開放。
有關壓力條件，請另行咨詢。
★使用注意
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
四：耐壓1.0Mpa，進口大壓力5公斤。
五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下 再操作
尺寸圖：
