美國艾利凱特質(zhì)量流量控制器-多重氣體可選性能參數(shù)：
| 性能/參數(shù) | 多種氣體可選系列質(zhì)量流量控制器 |
| 流量范圍 | 0.5SCCM-5000SLPM 可自行修改流量單位如kg/h、g/min等 |
| 標(biāo)定氣體 | 內(nèi)置90條氣體可選擇 |
| 精度(調(diào)零后) | ±(0.8%Rd+0.2%FS) |
| 高精度(調(diào)零后) | ±(0.4%Rd+0.2%FS),限于5SCCM-500SLPM |
| 重復(fù)性 | ±0.2%FS |
| 漂移(零點(diǎn)/滿量程) | 0.02% F.S/ºC/Atm |
| 工作范圍 | 0.5- |
| 響應(yīng)時(shí)間 | 100毫秒(調(diào)整) |
| 啟動(dòng)預(yù)熱時(shí)間 | 1秒內(nèi) |
| 標(biāo)準(zhǔn)工況 | 25ºC & 14.696 psia，可自定義修改 |
| 工作溫度范圍 | -10~-50℃(另有高溫訂制品) |
| 工作濕度范圍 | 0-RH(非冷凝) |
| 大工作壓力 | 10Bar |
| 安裝方向 | 任意 |
| 閥門狀態(tài) | 常閉 |
| 材質(zhì) | SUS302303304不銹鋼、密封圈VITON |
| 顯示屏 | 背光LCD顯示屏，同時(shí)顯示流量、壓力、溫度 |
| 數(shù)字信號(hào) | 標(biāo)準(zhǔn)RS232 選配:RS485、MODBUS-RTU、PROFIBUS、DeviceNet 以太網(wǎng)RJ45(EtherCAT/Ethernet/IP/Modbus TCP-IP) |
| 模擬信號(hào) | 標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA |
| 第二路模擬信號(hào) | 標(biāo)準(zhǔn)0-5V/1-5V/0-10V 選配:4-20mA |
| 電氣接口 | 標(biāo)準(zhǔn)圓形8芯 選配:圓形6芯、DB9、DB15 |
| 供電電壓 | +24VDC |
| 消耗電流 | 20SLPM以內(nèi)：250mA 50SLPM以內(nèi)：750mA 注：5000SLPM消耗2000mA電流 |
美國艾利凱特質(zhì)量流量控制器-多重氣體可選
多種氣體可選系列質(zhì)量流量控制器內(nèi)部無可移動(dòng)組件和熱元件通過抗振動(dòng)測試對(duì)安裝方向不敏感。Alicat提供全面的用戶支持，包括技術(shù)咨詢快捷的設(shè)備校準(zhǔn)服務(wù)和有條件的終身質(zhì)保。
標(biāo)準(zhǔn)精度0.8%RD+0.2%FS、高精度0.4%RD+0.2%FS
有效范圍0.5-
內(nèi)置90-130條氣體曲線可選
響應(yīng)速度100MS
多種數(shù)字信號(hào)可選
