SHINKU真空光學貫通型直線導入機LM-40S-BN
LM-80S-BN（MLM-40S-BN），AVL-80，VL-40S，VL-70S，MLM-40ST，VCM-B
SHINKU真空光學貫通型直線導入機LM-40S-BN
SHINKU真空光學貫通型直線導入機LM-40S-BN
迷你手動機械軸X-34/34
本產(chǎn)品在大氣中進行超高真空移動及測定等實驗
為了正確且再現(xiàn)性好地操作X軸的平行移動而設計，進行精密的制作、組裝，本公司的產(chǎn)品廣泛地被各方面利用。
規(guī)格
X方向移動±2.5ｍｍ
安裝法蘭：ICF34FT
焊接回流內(nèi)徑：φ17ｍｍ
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
也制作馬達驅(qū)動。
照片是馬達驅(qū)動
帶旋轉(zhuǎn)導入機的便攜棒WSR-80
其他，根據(jù)用途進行設計。
規(guī)格
焊接回流：伸縮方式
行程：0～80mm（也有100mm）、360°旋轉(zhuǎn)
安裝法蘭：ICF70FH
厚連桿：Φ6、前端部會根據(jù)用途制作
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
貫通型直線導入機LM-40S-BN(LM-80S-BN)
本產(chǎn)品在以往的直線導入機上附加了各種導入機、魚叉等安裝的法蘭，不僅可以用于超高真空槽的直線移動、定位等單純的直線導入機，還可以進行各種復合操作。
由于安裝法蘭是ICF法蘭，所以可以利用一般的送通，例如，與使用電流導入端子的可動型檢測器、其他的運動導入機組合而安裝了2軸動作型機械手、閥門等的可動型噴嘴、可以考慮斯尼弗等廣泛的應用。
規(guī)格
移動距離：0～40mm（LM-40S-BN）、0～80mm（LM-80S-BN）
連接法蘭：ICF70FH
擴展安裝法蘭：ICF34FTBNC付ICF34
定位精度：1rev.2mm1刻度／0.1mm
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
同軸直線導入機MLM-80S-BN(MLM-40S-BN)
本產(chǎn)品與以往的直線導入機不同，可動軸貫通，加上可以安裝釣魚等的法蘭，使超高真空槽內(nèi)的直線移動、定位等能夠進行各種復合操作，因此附加了安裝法蘭ICF34可利用一般的送通，與使用電流導入端子的可動型檢測器及其他運動導入機組合，可安裝2軸動作機器人、氣體導入閥等的可動型噴嘴、輕便毛皮等廣泛使用。
規(guī)格
焊接回流使用：伸縮方式
精度：2mm/Rev0.1mm/div
移動距離：0～40mm（MLM-40S-BN）、0～80mm（MLM-80S-BN）
連接法蘭：ICF34FH
擴展安裝法蘭：ICF34附FTBNC ICF34
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
自動直線導入機AVL-80
規(guī)格
焊接回流驅(qū)動
分辨率：0.00002mm/脈沖
連接法蘭：ICF70
行程：80mm
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
直線導入機VL-40S，VL-70S，MLM-40ST，VCM-B
規(guī)格
焊接回流使用：伸縮方式
精確度：1mm/Rev、0.05mm/div
連接法蘭：ICF70（114、152也可制作）
行程：0～40mm
容許泄漏量：1.33X10-11Pa?m3/sec以下
