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電子探針X射線顯微分析

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北京中科光析化工技術研究所(簡稱中化所),為集體所有制單位,是以科研檢測為主的化工技術研究機構。中化所堅持基礎研究與應用研究并重、應用研究和技術轉化相結合,發展為以“任務帶學科”為主要特色的綜合性研究所。經國家有關部門批準,目前成為第三方分析測試技術服務單位,并獲得CMA資質認證。開展了研發設計、分析檢測、試驗驗證、共性加工、信息及知識產權等服務,為科技型企業創新提供公共服務。本所得到政府創新基金的支持,被評為國家。中化所先后成立了化學實驗室、微生物實驗室、力學實驗室、材料實驗室、醫學實驗室、高分子實驗室、聲學實驗室等。為我國航空航天、科研、司法單位、制造等部門提供了個性化的定制方案及服務。
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電子探針X射線顯微分析儀儀器名稱:電子探針X射線顯微分析儀型號:EPMA-1600生產廠家:日本島津公司儀器簡介:日本島津公司的EPMA-1600型電子探針,由四道譜儀、八塊分光晶體組成
電子探針X射線顯微分析 產品詳情

電子探針X射線顯微分析儀

儀器名稱:電子探針X射線顯微分析儀

號:EPMA-1600

生產廠家:日本島津公司

儀器簡介:日本島津公EPMA1600型電子探針,由四道譜儀、八塊分光晶體組成。此儀器不僅有較高的X射線檢出角,同時由于使用全聚焦的X射線分光晶體,能兼顧X射線檢測的高靈敏度和高分辨率,并配有高穩定的電子光學系統,真空系統及高精度機械系統以及牛津X-射線電制冷能譜儀,是目前的微區成分定量分析和形貌觀察的大型科研儀器之一。

儀器主要特點及技術指標:

l 分析元素范圍: 4Be94Pu

l 電子束流穩定性:好于1.5×10-3/H

l 二次電子像分辨率:6nm

l 加速電壓:0~30kV

l X射線檢出角52.5°

l 放大倍數:50×~300,000×

l 分析速度:自動全元素定性分析時間60s

l 樣品尺寸100mm´100mm´50mm

l 樣品臺最小移動間距為0.01微米,機械系統精密度高

l 可觀察二次電子像(SEI),背散射電子像(BEI),吸收電子像,光學顯微像,X射線面分布像等。兼顧微區成分定量分析和形貌觀察

儀器主要功能及其用途:

l 非破壞分析(分析時,被分析樣品不會損壞,可以實現同點重復分析)

l 微米尺度的空間分辨分析

l 輕元素的定量分析

l 元素的面分布分析

l 痕量元素的成分分析

l 精細結構分析
l 適用于材料(陶瓷,合金,半導體材料等)以及礦物、巖石等固體材料的微區化學組成定性和定量分析,微區化學組成線分析,微區化學組成面分析以及材料、礦物和巖石等的微區形貌觀察、成分分布圖像等,是對試樣微區組織結構,表面形貌觀察及元素定量分析的效手段。

關鍵詞:電子探針
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