技術(shù)特點：
1.敞開式的測量空間，量程增至20.40.18；
2.精密的三角梁，結(jié)構(gòu)緊湊，具有的剛性比；
3.整體式的燕尾導(dǎo)軌，三面閉環(huán)，提供了業(yè)內(nèi)最穩(wěn)固的結(jié)構(gòu)；
4.全鋁框架，機身自重小，運行穩(wěn)定；
5.遠(yuǎn)置的電機，減小了電機發(fā)熱對測量機精度的影響；
6.德國海德漢光柵，一端固定，一端彈性連接，保證了光柵隨溫度的線性變化；
7.獲得的氣動平衡技術(shù)，提高了測量機的精度和穩(wěn)定性。
參數(shù)：
1.敞開式的測量空間，量程增至20.40.18；
2.精密的三角梁，結(jié)構(gòu)緊湊，具有的剛性比；
3.整體式的燕尾導(dǎo)軌，三面閉環(huán)，提供了業(yè)內(nèi)最穩(wěn)固的結(jié)構(gòu)；
4.全鋁框架，機身自重小，運行穩(wěn)定；
5.遠(yuǎn)置的電機，減小了電機發(fā)熱對測量機精度的影響；
6.德國海德漢光柵，一端固定，一端彈性連接，保證了光柵隨溫度的線性變化；
7.獲得的氣動平衡技術(shù)，提高了測量機的精度和穩(wěn)定性。
參數(shù)：
| 型號 | 行程范圍（mm） | 外形尺寸（mm） |
| 15.20.14 | 1500X2000X1350 | 2388X3280X4385 |
| 15.26.14 | 1500X2600X1350 | 2388X3880X4385 |
| 15.33.14 | 1500X3300X1350 | 2388X4580X4385 |
| 20.33.15 | 2000X3300X1500 | 2888X4580X4686 |
| 20.40.15 | 2000X4000X1500 | 2888X5240X4686 |
| 20.33.18 | 2000X3300X1800 | 2888X4580X5286 |
| 20.40.18 | 2000X4000X1800 | 2888X5240X5286 |
E0：自3.0 μm起
