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INFICON IC6膜厚儀 氦質譜檢漏儀

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  • 更新時間2023-06-08
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INFICON IC6膜厚儀 氦質譜檢漏儀 產品詳情

功能

  • INFICON ModeLock 技術確保獲得、的速率和厚度測量分辨率,即使在速率極低的情況下
  • Auto Z 技術通過自動測定沉積材料的 Z 比值,可提高厚度測量的精度
  • 支持最多六個來源同時共鍍膜
  • 彩色 TFT LCD 顯示屏使用戶很容易看到過程的進展狀況
  • 100ms 樣本速率下頻率范圍為 +/-0.0035 Hz
  • USB 數據存儲功能可存儲屏幕截圖、配方存儲和數據記錄
  • 強大的 I/O 憑借其靈活性可融入簡單或復雜的系統(使用可擴展輸入 (28) 和輸出 (24 繼電器,14 TTL 輸出),并充分利用邏輯功能(100 個邏輯語句)
  • 6 個標準 DAC 輸出和另外 6 個可選輸出用于來源控制、速率或厚度監控
  • 可容納最多 50 個過程,每個過程 200 層,這些過程關聯到一起,總共可容納 10,000 層。
  • 多路傳感器可平均分配為 8 個傳感器
  • 4 米 XIU 選件能夠在大型系統中使用較長的真空傳感器電纜
  • 可選以太網通信
  • 符合 RoHS 標準

典型應用

  • 光學鍍膜

規格

類型IC6
測量性能 
頻率分辨率±0.0035 Hz @ 6 MHz
厚度和速率分辨率/測量 (1)±0.00433 ?
測量頻率范圍6.0 to 4.5 MHz (fixed)
厚度精度 (2)0.5%
測量周期0.10 s
多個測量值平均0.1, 0.4, 1.0, 4.0, 10.0, 20.0, and 30.0 sec. averaging allowed
設計功能 
Auto Zyes
自動色調yes
共沉積yes (up to 6 sources)
過程配方和數據管理 
材料計劃32
過程層(每個過程)200
過程50 (processes can be linked together)
USB 存儲器yes
數據記錄yes
硬件功能 
傳感器 (3) 
8
雙 / CrystalTwo®4 / 8 (with CrystalTwo® Switch)
CrystalSix®8
Crystal 12®8
通用8
來源控制 
來源數量 (4)up to 6
來源控制電壓0 to +/-10 V, adjustable
輸出分辨率15 bits over full range (0 to 10V)
坩堝位置64
輸入 / 輸出 
輸入14 standard, up to 28 optional; TTL/CMOS logic compatible or closure to ground
輸出8 standard, up to 24 optional programmable SPST relays rated at 30 V(dc) or 30 V(ac) RMS or 42 V peak @ 2.5 amps; 14 optional TTL outputs
記錄器輸出 (4)0 to +10 V, adjustable
邏輯語句100 fully programmable; up to 5 actions, 5 events per statement
通信 
標準RS232
可選Ethernet
顯示器 
厚度分辨率

1 ? for 0 to 9.999 k?

10 ? for 10.00 to 99.99 k?

100 ? for 100.0 to 999.9 k?

1 k? for 1000 to 9999 k?

速率分辨率

0.001 for 0 to 9.999 ?/s if rate filter time setting is 10 seconds or greater

0.01 for 0 to 99.99 ?/s

0.1 for 100 to 999.9 ?/s

操作 
電源要求

100 – 230 V (ac) +/- 15%

50 / 60 Hz +/- 3 Hz

工作溫度0 to 50 C (32 to 122 F)
尺寸,不包括安裝件(高 x 寬 x 深)5.25” x 19” x 13” (133mm x 483mm x 330 mm)
重量23 lbs (10.5 kg)

(1) 工具/密度 = 100/1,基本頻率 = 6 MHz

(2) 因流程而異;數值反映典型精確度

(3) 每種型號的配置

(4) IC6 有 6 個 DAC 輸出標準,另有 6 種標準可選擇性地添加。這 12 個標準中的任何一個都可作為源控制電壓或記錄器輸出進行配置,但可同時控制的源的數量為 6

INFICON IC6膜厚儀     
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