氣體質(zhì)量流量計 SFM5400
適用于多種應用的多功能流量計
SFM5400質(zhì)量流量計具有的精度（誤差＜1%）、可重復性和長期穩(wěn)定性，寬動態(tài)測量范圍。SFM5400由金屬制成，且高度可配置。它采用多種機械連接和電氣接口，可測量50 sccm和200 slm之間的流量。傳感器信號可在芯片上直接轉(zhuǎn)換成數(shù)字、*校準和溫度補償?shù)男盘?。多個氣體校準可以存儲在一個器件中。此外，流量計可以檢查激活的氣體校準是否與實際存在氣體相匹配。SFM5400的通用性使它成為工業(yè)和醫(yī)療應用的理想解決方案。
SFM5400質(zhì)量流量計的杰出性能基于創(chuàng)新的CMOSens® 技術(shù)，它在一個CMOS硅芯片上集成了高精度傳感元件和信號處理電路。結(jié)合優(yōu)質(zhì)材料，實現(xiàn)了一個持久穩(wěn)定、快速和高精度的質(zhì)量流量計。
SFM5400質(zhì)量流量計是SFC5400質(zhì)量流量控制器的無閥門版本。SFC5400質(zhì)量流量控制器與質(zhì)量流量計具有相同的性能特性，并適用于類似的應用，這兩個產(chǎn)品可以結(jié)合在一起。在SFC5400 網(wǎng)站，你可以找到關(guān)于質(zhì)量流量控制器的進一步信息和詳細規(guī)格。
性能參數(shù)
- 高精度、低流量（< 1 sccm）
- 優(yōu)良的精度/可重復性（分別為測量值的0.8% / 0.1%）
- 寬動態(tài)范圍（量程比1000:1）
- 多氣體和氣體識別
- 數(shù)字和模擬接口
- 柔性機械連接選項：down mount、VCR和VCO、Swagelok、C-/W-Seal等
- 高度可配置
- MTBF169年-無需再校準
應用
- 分析儀器（如氣相色譜、質(zhì)譜、熱分析）
- 科研（如、）
- 工業(yè)過程自動化（如涂覆、熱處理）
- 半導體產(chǎn)業(yè)（如等離子蝕刻工藝、薄膜沉積）
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