氦質譜檢漏儀工作原理
利用真空排氣引起的內外壓差,通過感應到的流入工件或從工件流出的氦氣來檢測泄漏量。
使用氦氣作為檢漏介質原因：
氣體本身無害，且沒有危險
分子小，易從泄漏部位進入
空氣中的含量僅為約5 ppm，因此檢測錯誤的可能性極低（空氣中含量約0.007%）
氦質譜檢漏儀檢測方法
真空噴氦法（噴霧法）
將被測工件內部抽真空，從外部噴射氦氣，檢 測從泄漏點進入的氦氣
用于焊接管道、柔性管、密封接頭等的泄漏試驗
真空氦罩法
將待測工件放入充滿氦氣的塑料袋后抽真空，檢測從泄漏點進入的氦氣
用于質量流量控制器等的泄漏試驗
真空容器法（真空鐘罩法）
將已充滿氦氣的工件放入真空鐘罩容器或真空容器內，抽真空后。
用于滅火器、安全氣囊等的泄漏試驗
沉浸法（鋼瓶法）
先用鋼瓶裝置將壓入氦氣被測的工件放入真空容器內，檢測出因真空差壓而流出的氦氣。
用于氣密小型量產零部件的泄漏試驗
吸入法（吸槍法））
因強度或其他原因無法做真空排氣的工件，可以對工件內部加壓，壓入氦氣（或者氦氣與其他氣體的混合氣體），用探針吸入從泄漏點流出的氦氣來進行檢測。
用于壓縮機、熱交換器、冷凝器等的泄漏試驗。
并列的泄漏試驗
通常用于單容檢漏儀無法進行真空排氣的容積較大的腔體、大型真空設備的泄漏檢測。使用這種測試方法需要安裝干泵、渦輪分子泵等真空泵機組。
用于真空蒸鍍裝置、吸收式冷凍機、真空爐等的維護。
氦質譜檢漏儀采用270度偏轉方式分析管
分析管偏向角(90°?180°?270°)的不同決定了本底恢復的性能，同時實現高靈敏、高精度的檢測。
本底高速恢復，的背景恢復性能
本氦質譜檢漏儀采用的分析管270度偏轉方式，能分離、去除干擾源，不受氦以外氣體的影響，即使吸入了大量氦，本底也能快速恢復。
模擬制造10-5Pa·m3/s命令的泄漏，噴氦五分鐘測定直至1X10-11Pa·ｍ3/s的本底為止，需要花多長時間恢復？測試結果為: 0分56秒
測試端口氦排氣速度3L/s（50 Pa以下），實現高速測定時間穩定性
氦排氣速度較高，有助于本低的快速穩定及快速感應
在生產線中有助于縮短節拍時間
搭載非接觸型構造的干式真空泵
搭載無油/無塵/三年免維護的泵
微塵耐性高、本體小，無塵室
無需更換油旋轉真空泵的油，可防止漏油和排氣煙霧應
