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SAMCO二手翻新刻蝕系統刻蝕機RIE-10NR

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  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-05-27
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區青島市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量441
  • 人氣值10220
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公司主營實驗室分析檢測儀器設備,以實驗室整體建設為發展方向。公司目前涉及電子電器、醫藥生物、石油化工、食品、機械、新材料、環境、科研高校等諸多領域。聯合山東醫藥化工設計院,美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點實驗室從實驗室布局設計出圖、基礎設施建設、儀器設備供應、方法開發建立、后期運營管理,形成完整的專業實驗室建設體系,達到一站式服務,為眾多行業客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營產品分為四大類,光譜儀、色譜儀、質譜儀和環境在線檢測。
能量色散X熒光光譜儀(EDX)、波長色散X熒光光譜儀(WDX)、等離子體發射光譜儀(ICP)
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SAMCO二手翻新刻蝕系統刻蝕機RIE-10NR產品優勢:高度緊湊型設計,節約空間
SAMCO二手翻新刻蝕系統刻蝕機RIE-10NR 產品詳情

SAMCO二手翻新刻蝕系統刻蝕機RIE-10NR

產品優勢:

高度緊湊型設計,節約空間;

均勻度-小于±5%超過8英寸;

30年的RIE蝕刻器生產工藝經驗;

具備大型晶圓處理能力,能夠處理8英寸晶圓;

易于操作-電腦化的觸摸屏顯示器;

ASMCO二手翻新刻蝕系統RIE-10NR

設備硬件配置

1. 可加工尺寸,8 wafer
2. 真空系統
EBARA 羅茨泵+OSAKA 分子泵
3. RF
AX-300 300W,13.56MHZ
4. 氣體
O2 200SCCM
CF4 200SCCM
AR 100SCCM
SF6 100SCCM
氣體可根據客戶需求更改
5. VAT 蝶閥
6. MKS 薄膜電容真空計

7. 配備冷水機

ASMCO二手翻新蝕刻系統ORE-10NR參數表

翻新內容

1. 真空泵翻新;
2. MFC 校準翻新;
3. 腔室 parts 翻新;
4. 真空管路波紋管及密封件更換;

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