日本Horiba STEC LF/LV微小液體質量流量計/控制器是上初次采用了冷卻檢測方式的流量傳感器。
日本Horiba STEC LF/LV微小液體質量流量計/控制器產品簡介：
搭載有上初次采用了冷卻檢測方式的流量傳感器
日本Horiba STEC LF/LV微小液體質量流量計/控制器產品特點：
通過采用數字回路，實現了高精度、高速響應。
可以進行微升以上的微小流量控制。
可以進行低沸點液體材料、高粘度液體材料的精細流體控制。
超潔凈類型
日本Horiba STEC LF/LV微小液體質量流量計/控制器技術參數：
名稱質量流量計型號LF-F20M-ALF-F30M-ALF-F40M-ALF-F50M-ALF-F60M-A
全標度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 | ||
檢測控制范圍 | 5??99% F.S. | ||||||
對象液體種類 *1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 | ||||||
液體粘度 *2 | 很大值. 0.1 Pa·s (100cp) | ||||||
精度 *3 | ±1% F.S. | ||||||
直線性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||||
重復性 *3 | ±0.5% F.S. | ||||||
響應精度 | 3秒以內 (T98) | 2秒以內 (T98) | |||||
使用環境溫度 *4 | 5??50℃ (15 ?? 45℃精度的確保) | ||||||
溫度影響 Span | ±0.1%F.S./℃ 很大值±1% | ||||||
工作差壓值值 *5 | 很大值. 5MPa (視為流量計) / 50??300kPa (with piezo 控制閥) | ||||||
耐壓 | 10MPa (視為流量計) | ||||||
壓力損失 | 很大值. 500Pa | ||||||
流量設定信號 | 模擬：0.25??5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數字式：RS485(F-Net通信協議) | ||||||
流量輸出信號 | 模擬：0??5 VDC(很小負荷電阻2kΩ) 數字式：RS485(F-Net通信協議) | ||||||
驅動電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||||
外部泄漏規格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||||
接液部材質 | SUS316L, Ni | ||||||
標準接頭 | 1/16”， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型 | 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型 | 1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型 | ||||
名稱質量流量控制器型號LV-F20 (PO/MO)LV-F30 (PO/MO)LV-F40 (PO/MO)LV-F50 (PO/MO)LV-F60 (PO/MO)
全標度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 | |||
檢測控制范圍 | 5??99% F.S. | |||||||
對象液體種類 *1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 | |||||||
液體粘度 *2 | 很大值. 0.01 Pa·s (10cp) | |||||||
精度 *3 | ±1% F.S. | |||||||
直線性 *3 | ±0.5% F.S. | |||||||
重復性 *3 | ±0.5% F.S. | |||||||
響應精度 | 3秒以內 (T98) | 2秒以內 (T98) | ||||||
使用環境溫度 *4 | 5??50℃ (15 ?? 45℃精度的確保) | |||||||
溫度影響Span | ±0.1%F.S./℃ 很大值±1% | |||||||
工作差壓值 *5 | 0.05??0.3MPa | |||||||
耐壓 | 1MPa | |||||||
壓力損失 | ー | |||||||
流量設定信號 | 模擬：0.25??5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上) 數字式：RS485(F-Net通信協議) | |||||||
流量輸出信號 | 模擬：0??5 VDC(很小負荷電阻2kΩ) 數字式：RS485(F-Net通信協議) | |||||||
驅動電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | |||||||
外部泄漏規格 | PO 類型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO 類型： 5×10-12Pa?m3/s (He) | |||||||
接液部材質 | PO 類型：SUS316L， Ni， PTFE， PFA MO 類型： SUS316L，Ni | |||||||
標準接頭 | 1/16” ， 1/8” SWL類型， 1/8” VCR 類型 | 1/8 SWL類型， 1/8”VCR 類型 | 1/4” SWL類型 1/4” VCR 類型 | |||||
*1：LF-F/LV-F系列質量流量控制器利用1種液體進行了流量校正 (請預先所使用 的液體。)
不能檢測含有固體物的液體。
如果混合液中混合比會發生變化時，請預*行咨詢協商。
LV-F系列質量流量控制器如果在對象液體中含有粒子等時，請在一次端(入口端) 安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2：LF-F類型質量流量控制器根據流量量程，可以適用到較大值， 0.1Pa?s。有關高粘度的液體請預*行咨詢協商。
*3：以SEMI E56-1296 為準。
*4：進行測量??控制的液體溫度如果低于環境溫度時，使用時請把溫差控制在10℃以 內;如果高于液體溫度時，使用時請把溫差控制在3℃以內。
*5：這是在粘度0.001Pa??s中的F.S.流量值。
