性能指標
- 質量分辨率：29Si>12000，在m/z>200附近可以達17000以上；
- 檢測極限：ppm~ ppb級；
- 質量范圍：~12000；
- 檢測范圍：所有元素(含H、He)及同位素；
- 橫向分辨率<70nm, 深度分辨率<1nm
主要應用
- 譜圖檢測、化學成分成像及深度剖析測試，可應用于分析有機、無機、納米材料（特別是半導體、電池材料）、微電子、生物醫學、地質/考古、冶金、環境、人工智能等固體材料。
- 納米尺度下，對固體材料、生物組織或細胞進行化學成像分析；半導體材料痕量雜質分析(ppm至ppb)；薄膜樣品三維空間尺度化學成分分布及成像。
樣品要求
- 不能被測試的樣品種類： 放射性的樣品；真空中會釋放大量氣體、尤其釋放的氣體對不銹鋼具有腐蝕性的樣品，比如可以釋放出HCl+H2O,有化學毒性和生物毒性的樣品；低熔點樣品，如松香等，高密度束流濺射后可能會熔化；在制樣過程中容易快速潮解的樣品。
- 樣品物性/外形/尺寸： （1）固體樣品（導體、半導體和絕緣體）。其中薄膜、片狀、塊體：長×寬尺寸約10 mm × 10 mm~12 mm × 12 mm，厚度不大于5mm； （2）盡量保持樣品上下表面平整（尤其待測面，越平整越好）； （3）粉末樣品壓片后送樣。壓片時使用清潔的鋁箔包裹粉末樣品，以避免在加壓過程樣品表面被污染,壓片后的尺寸要求見（1）條。 （4）通過溶液涂膜方法制備薄膜樣品時，使用表面平整的導體或半導體作為襯底，例如：Si片， 鍍金的Si片，或銀片等。
- 送樣時注意事項： （1）送樣時，請附上打印的預約單及送樣記錄單； （2）待測試的樣品表面不能被沾污（如手摸拿，碰觸污染物等，制樣及裝樣過程中均需注意），所有樣品在送樣之前必須提前進行真空干燥或者冷凍干燥； （3）樣品中不得含有乙酸乙酯、氯仿、二氯甲烷、苯、環己烷、DMSO等有機試劑； （4）易被氧化或易吸水樣品，在送樣過程中應注意隔離空氣（如放保干器， 或高純Ar氣袋 ），或事先與我們聯系，商量解決辦法； （5）用帶蓋的玻璃小試管、小容量瓶等容器裝樣；不要直接使用塑料容器、塑料袋、含硅的膠帶或膠面和紙袋，以免硅樹脂或纖維污染樣品表面。也可以使用干凈的鋁箔直接包裹樣品后放入干凈的玻璃器皿中送樣； （6）如果高分子材料中含有殘余的揮發性有機試劑分子或小分子單體，務必先行在真空烘箱中抽除這些物質。如果樣品置入ToF-SIMS預抽真空腔體內，經過一夜抽真空后依然無法抽至1e-7mbar以下，該樣品的測試將被取消； （7）對薄膜、片狀、塊體樣品標記出測試面；千萬注意：不能使用墨水筆在樣品上標記測試面，以免墨水中的有機試劑污染待測樣品表面！！！對于金屬或半導體，高分子材料片狀，建議使用刀片或金剛石刻刀在不測的一面畫＂＋＂字； 另外，樣品袋上要用標簽紙標上預約人姓名； （8）寫明分析測試的要求，如待測成分，送樣信息等（見送樣記錄單），如果樣品有易變性（如被氧化，吸附等），易熔化等情況應說明清楚（可在送樣記錄單中說明）； （9）初次實驗需要決定分析條件情況，送樣者若能到場，可能有助于測試的進行。
儀器說明
- 儀器名稱：飛行時間二次離子質譜儀；
- 生產廠家：德國ION-TOF GmbH
- 儀器型號：TOF SIMS 5 配備高效電子中和槍，可精確分析絕緣材料；
- 分析源配備Bi源分析槍（LMIG）及氬原子團簇離子槍（GCIB），濺射源配備O源、Cs源及GCIB。
