多工位磁控濺射鍍膜機(jī)可同時(shí)放置多片基片，適應(yīng)研發(fā)線或中試線的小批量生產(chǎn)。矽碁提供的可公轉(zhuǎn)基片載臺(tái)方便客戶靈活調(diào)整各基片對(duì)應(yīng)不同靶位。預(yù)裝矽碁自主研發(fā)的工業(yè)級(jí)全自動(dòng)控制系統(tǒng)，設(shè)備可按預(yù)設(shè)工藝流程進(jìn)行自動(dòng)生產(chǎn)。工藝重復(fù)性優(yōu)于 ±3%，有效保證生產(chǎn)穩(wěn)定性。
技術(shù)參數(shù)：
1 本底真空10-7 Torr；
2 多基片設(shè)計(jì)，數(shù)量、尺寸可定制；
3 基片臺(tái)可公轉(zhuǎn)、自轉(zhuǎn)并加熱：300℃/500℃/800℃；
4 最多可拓展6支磁控濺射靶槍，6個(gè)工位；
5 靶槍濺鍍距離可調(diào)，可升級(jí)強(qiáng)磁靶；
6 防交叉污染遮板設(shè)計(jì)；
7 可配備樣品預(yù)清洗功能；
8 可配備快速進(jìn)樣室；
9 可配備自動(dòng)壓力控制系統(tǒng)；
