技術參數:
1 電子槍能量范圍:100 eV ~ 10 keV;
2 電子槍工作距離:10 mm ~ 1000 mm;
3 電子束偏轉角度:±6° @ 10 keV;
4 電子槍束流:1 nA ~ 100 μA;
5 束斑尺寸:60 μm ~ 25 mm;
6 陰極材料:Y2O3/BaO/Ta/LaB6;
7 計算機/遠程控制能力:通過50針D-sub/RS-232接口;
8 反饋穩定功能:發射電流控制;
9 雙柵脈沖寬度調制范圍:2 µs ~ DC,重復頻率可到5 kHz;(Option)
10 脈沖寬度調制范圍:20 ns ~ 100 µs;(Option)
11 集成法拉第杯;(Option)
EGG-3101 / EGPS-3101型電子槍產品介紹