Park Systems原子力顯微鏡 XE-15
儀器簡介:
Park XE-15具有全面的樣品兼容性。其多種樣品臺設計，為不同尺寸、形狀、數量的樣品提供了方便可靠的測試環境。解耦合的閉環XY掃描器，消除了彎曲效應誤差，提供了的線性度。真正的非接觸掃描模式，擴大了適合樣品種類，同時極大地延長了探針壽命，降低了使用成本。
Park Systems原子力顯微鏡 XE-15技術參數：
掃描器
XY掃描器
柔性制導閉環控制單模塊掃描器
掃描范圍100μm*100μm（可選50μm*50μm）
平面偏移度:<2nm（40μm*40μm掃描）
Z掃描器
柔性制導強力掃描器
掃描范圍12μm（可選25μm）
共振頻率：>5kHz
表面成像噪聲：0.03nm
樣品臺
樣品臺種類：16位點樣品臺/150mm直徑真空吸附臺（可選200mm直徑真空吸附臺）
樣品尺寸： 150mm*150mm*20mm
樣品重量：zui大500g
樣品臺移動范圍：150mm*150mm（可選200mm*200mm）
主要特點：
一、創新的多位點樣品臺設計，提供工作效率
●一次操作zui多可以掃描16個樣品
●樣品安放簡單，掃描迅速
●極大提高了數據的精確性和重復性
二、支持超大樣品，滿足業界發展需要
●zui大支持200 mm晶圓，滿足用戶目前和今后的需要
●滿足半導體相關用戶實際需要的專門設計
三、豐富的功能模式選擇
●完善支持各種SPM功能
●支持多種選配測量模式
●支持各種可選配件，擴展性能*
