日本MRM回吸閥MSV, MLSV
日本MRM回吸閥MSV, MLSV
回吸閥 (Suck back Valves)
調整手閥可控制回吸量。
配管時更省空間。
接流體部全部都是氟化乙烯樹脂(PFA/PTFE)，抗腐蝕。
超低粉塵處理(表面粗糙度加工、精密洗浄、積液少設計)。
使用流體 (Fluid) 化學品?純水?氣體 (Chemical liquid, DIW, Gas) ※2
流體溫度 (Fluid temperature range) 10?100℃
雰囲気溫度 (Atmospheric temperature) 0?40℃
液體流動部分的材質 (Materials of liquid flowed parts)
本體 (Body) : PTFE
薄膜 (Diaphragm) : PTFE
操作方式 (Operating system) 單動式 (Spring return actuation)
操作圧力 (Pneumatic supply pressure) 0.35?0.6MPa
最大回吸量 (Amount of maximum suction) 0.12?0.13cc
閥門尺寸 (Valve size) 6 (1/8”) 4TF3 8 (1/4”)
流通孔(Orifice) Φ5 Φ5 Φ5
流體圧力 (Fluid pressure range)
0.5MPa規格
(0.5MPa specification)
IN→OUT 0?0.5MPa
背圧 (Back pressure) 0?0.4MPa
