TOKYOKEISO東京計裝集成流量控制器CLFC300系列

TOKYOKEISO東京計裝集成流量控制器CLFC300系列

集成流量控制器CLFC300系列，分體式流量控制器FC6000

產品介紹

CLFC300系列是集超聲波流量計檢測器、控制閥、流量計算、閥門控制電路為一體的流量控制器。
搭載了可以跟隨目標流量的控制功能，用于控制半導體設備所需的各種液體，如化學液體的恒定供應、DIW流量控制、漿料流體的定值控制. 

特征

改進的可控性

改進了傳統的運算處理，提高了抗氣泡性。
流量測量的穩定性也得到了提高。

改進的可控性

在階躍響應性能方面，的運算電路實現了極快的響應，實現了對設定值1.5秒以內的控制速度。

提供 2 種閥門類型

我們有用于化學液體和 DIW 的針閥，以及用于漿液的夾管閥。
STA-PURE Style Pcs (STA-PURE) 管已新添加到夾管類型中。
Stapure 管非常耐用，無需定期更換管。

小巧輕便

超聲波流量計檢測器、控制閥和電路部分都裝在一個小機箱內，安裝在設備內部時可節省空間。
結構經過重新設計，使傳統產品更加緊湊。（下降20%）
重量也隨著小型化而減輕。（下降 35%）

減少接線和管道

安裝時只需連接進出液接頭，用多芯電纜進行電氣布線即可，無需復雜的配管和布線。

環保

減少電流消耗。（實際值減少 35%）
由符合 RoHS 標準的部件構成。

高耐腐蝕性

PFA 和 PTFE 是極耐腐蝕的材料，用于接液部件，可應用于處理半導體和化學品的各種行業。
PVDF 也用于表殼材料。

EMC 合規性

EN61326-1:2006

主要用途

設置化學品和去離子水的供應流量

通過將 CLFC300 安裝在由計量泵和罐加壓控制的各種化學液體和 DIW 供應管線中，可以高精度和穩定地控制液體供應量。

濃度控制

通過用純水等稀釋藥液來控制恒定濃度時，在藥液和純水管路中安裝 CLFC300 可以實現先進的濃度控制和濃度管理。

漿液穩定供應

通過將CLFC300安裝在CMP設備的各種漿料供應管線中，可以穩定地以恒定速率供應漿料，并且可以防止所用液體的浪費。

FC6000是采用高精度超聲波流量計作為流量傳感器的分體式流量控制系統。
流量控制器FCA6000系列內置超聲波流量計轉換器，通過組合流量傳感器和控制閥可以構成緊湊的系統。

 ·控制閥：FCV系列
 ·超聲波流量計檢測器：UCUF系列
 ·流量控制器：FCA6000系列

流量傳感器和控制閥種類齊全，可實現廣泛的流量控制。此外，通過將過程連接的流量傳感器/控制閥與測量/控制部分分開，提高了安全性并且可以進行自由布局。
它是包括半導體工藝在內的各種化學品的高級流量控制的理想選擇。

特征

提高氣泡阻力和流量測量穩定性

當液體中含有氣泡時，超聲波的接收靈敏度會降低，這使得普通超聲波流量計的流量測量變得困難。FCA6000 系列通過使用經過驗證的原始信號處理技術，即使在靈敏度降低的情況下也可以進行流量測量。并且根據豐富的現場經驗，對異常輸出進行判別和排除，大大提高了抗氣泡性能。它還提高了流量測量的穩定性。

提高安全性，可以自由布局

將流量傳感器/控制閥與過程連接的測量控制部分分開，提高了防止液體泄漏等的安全性，并且可以自由選擇布局。

可進行大范圍的流量控制

FCA6000 系列可以處理從最小 2.5-25 mL/min 到 1-10 L/min 的流速。

低功耗

與傳統轉換器相比，FCA6000 系列降低了功耗。

CE 標志

符合歐盟 EMC、RoHS2 和低電壓指令
（EMC 合規標準：EN61326-1:2013、EN61326-2-3:2013）

高耐腐蝕性

UCUF系列的接液部分使用具有耐腐蝕性的PFA和PTFE，
可應用于處理半導體和化學品的各種行業。