直流濺射工作原理：
1.低氣壓下（一定的真空度）氣體的輝光放電現象：
2. 靶材接高壓，本設備為-2400V，為負極；樣品臺接地，為正極；
3. 靶材與樣品臺之間形成電場，電離氣體，可用空氣、Ar、N2；
4.氣體電離后，正離子飛向負極，轟擊靶材，靶材原子被濺射飛出，沉積到樣品上形成導電膜；
5.電子或負離子在電場的作用下，飛向樣品臺，會加熱樣品，濺射電流10mA，濺射時間1分鐘，樣品臺溫度約為60℃
工作特點：濺射電流隨壓力變化，壓力升高，濺射電流才能增加；
壓力升高、電流變大、濺射顆粒變大，熱損傷隨之加劇。
應用領域：非熱敏性樣品，如無機鹽類粉體等，性價比較高
適用于普通鎢燈絲掃描電鏡、臺式電鏡等
GVC-1000/1200離子濺射儀
金靶
顆粒尺寸20~50nm
產品特點：
一、安全
1．高壓線多重防護，外加8×5透明真空管，安全；
2．外殼良好接地；
3．真空互鎖；
4．電流＞50mA，真空度超過100Pa，系統自動切斷濺射；
5．實體按鍵，安全；
6．濺射頭采用阻尼設計，任意位置懸停
二、信息量大
1．濺射過程中真空度和濺射電流以曲線方式實時顯示，簡單直觀；
2．靶材使用時間，儀器使用時間系統自動記錄，直觀了解設備的運行狀態。
三、快速上手
設備內置操作向導，在操作人員更換時，無需培訓，即可快速熟練操作設備。
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