三坐標測量儀是指在一個六面體的空間范圍內，能夠表現幾何形狀、長度及圓周分度等測量能力的儀器，又稱為三坐標測量機或三坐標量床。三坐標測量儀又可定義“一種具有可作三個方向移動的探測器，可在三個相互垂直的導軌上移動，此探測器以接觸或非接觸等方式傳遞訊號，三個軸的位移測量系統（如光柵尺）經數據處理器或計算機等計算出工件的各點（x，y，z）及各項功能測量的儀器”。三坐標測量儀的測量功能應包括尺寸精度、定位精度、幾何精度及輪廓精度等。

　　三坐標測量儀基本構成：

　　1、 X向橫梁：采用精密斜梁技術。

　　2、Y向導軌：采用的直接加工在工作臺上的整體下燕尾槽定位結構。

　　3、導軌方式：采用自潔式預載荷高精度空氣軸承組成的四面環抱式靜壓氣浮導軌。

　　4、驅動系統：采用本產高性能DC直流伺服電機、柔性同步齒形帶傳動裝置，各軸均有限位和電子控制，傳動更快捷、運動性能更佳。

　　5、Z向主軸：可調節的氣動平衡裝置，提高了Z軸的定位精度。

　　6、控制系統：采用進口的雙計算機三座標控制系統。

　　7、機器系統：采用計算機3D誤差修正技術（CAA），保證系統的長期的穩定性和高精度。

　　8、測量軟件：采用功能強大的3D-DMIS測量軟件包，具有完善的測量功能和聯機功能。

　　單支柱移動型三坐標測量儀介紹：

　　單支柱移動型，軸為主軸在垂直方向移動，支柱整體沿著水平面的導槽在軸上移動，且垂直軸，而軸連接于支柱上。測量臺沿著水平面的導槽在軸上移動，且垂直軸和軸。此型測量臺面、支柱等具很好的剛性，因此變形少，且各軸的線性刻度尺與測量軸較接近，以符合阿貝定理。

　　床式橋架型三坐標測量儀介紹：

　　床式橋架型，軸為主軸在垂直方向移動，廂形架導引主軸沿著垂直軸的梁而移動，而梁沿著兩水平導軌在軸方向移動，導軌位于支柱的上表面，而支柱固定在機械本體上。此型與移動橋架型一樣，梁的兩端被支撐，因此梁的撓度為少。此型比懸臂型的精度好，因為只有梁在軸方向移動，所以慣性比全部橋架移動時為小，手動操作時比移動橋架型較容易。

　　三坐標測量儀機型介紹：

　　結構型式：三軸花崗巖、四面全環抱的德式活動橋式結構

　　傳動方式：直流伺服系統 預載荷高精度空氣軸承

　　長度測量系統：RENISHAW開放式光柵尺，分辨率為0.1μm

　　測頭系統：雷尼紹控制器、雷尼紹測頭、雷尼紹測針

　　機 臺：高精度（00級）花崗巖平臺

　　使用環境：溫度(20±2)℃，濕度40%-70% ，溫度梯度1℃/m，溫度變化 1℃/h

　　空氣壓力：0.4 MPa - 0.6 Mpa

　　空氣流量：25 L/min

　　長度精度MPEe： ≤2.1 L/350 (μm)

　　探測球精度MPEp： ≤2.1μm

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