原子熒光分析法又稱為原子熒光光譜法，英文為Atomic Fluorescence Spectrometry（AFS）。是根據測量待測元素的原子蒸氣在一定波長的輻射能激發下發射的熒光強度進行定量分析的方法。原子熒光的波長在紫外、可見光區。氣態自由原子吸收特征波長的輻射后，原子的外層電子從基態或低能態躍遷到高能態，約經10-8秒，又躍遷至基態或低能態，同時發射出熒光。若原子熒光的波長與吸收線波長相同，稱為共振熒光；若不同，則稱為非共振熒光。共振熒光強度大，分析中應用最多。在一定條件下，共振熒光強度與樣品中某元素濃度成正比。主要用于金屬元素的測定，在環境科學、高純物質、礦物、水質監控、生物制品和醫學分析等方面有廣泛的應用。它一般檢測砷、碲、鉍、鉛、硒、銻、錫、鋅、鍺、鎘、汞。
優點
1.高靈敏度、低檢出限。特別對Cd、Zn等元素有相當低的檢出限，Cd可達0.001 ng/ml、Zn為0.04 ng/ml。由于原子熒光的輻射強度與激發光源成比例，采用新的高強度光源可進一步降低其檢出限。
2.譜線簡單、干擾少。
3.分析校準曲線線性范圍寬，可達3-5個數量級。
4.多元素同時測定。
