技術應用鏈接:
特點
· 低壓等離子系統，用于不同材料表面的處理
· 配置自動/手動模式，實現控制高機能
· 10.5L腔體可處理多種樣品
· 適合于研究院、高校、研發(fā)中心使用
· ８” Wafer去膠清洗
技術規(guī)格：
| 型號 | ATTO | ATTO PCCE | |
| 控制系統 | 手動控制 | PCCE 控制系統 | |
| 工藝氣路 | 雙路氣體 | ||
| 工藝氣體 | O2，Ar，N2，CO2，H2，Air等 | ||
| 單體導入 | H2O等單體（選配） | ||
| 流量計 | 針閥流量計 | MFC流量計 | |
| 真空 腔體 | 材質 | 高硼硅玻璃腔體，蓋子門帶觀察窗(石英，鉸鏈門選配) | |
| 內尺寸(Dia.×D) | 211×300mm | ||
| 容積 | 10.5L | ||
| 電極 | 360度外置環(huán)繞電極 | ||
| 發(fā)生器*
| 40KHz 0~200 W 13.56MHz 0~50 W 13.56MHz 0~300 W | ||
| 真空壓力計 | 指針式壓力計（選購） | 皮拉尼數字式壓力計 | |
| 計時器 | 旋鈕式（選購） | 數字式 | |
| 托盤 | 高硼硅玻璃（石英選配）W200xD260xH5mm | ||
| 外形尺寸（WXDxH）mm | 525x450xD450 | ||
| 電源 | AC220V 50Hz 10A | ||
| 真空泵 | 排氣速度8m3/H | ||
關鍵詞:
Diener
等離子表面處理儀
ATTO
未找到相應參數組，請于后臺屬性模板中添加
