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  • 粗糙度測量設備

BOKI_1000 粗糙度測量設備

參考價訂貨量

536000

≥1臺

具體成交價以合同協議為準
  • 型號BOKI_1000
  • 品牌中圖儀器
  • 所在地深圳市
  • 更新時間2025-03-08
  • 廠商性質生產廠家
  • 入駐年限5
  • 實名認證已認證
  • 產品數量1952
  • 人氣值239381
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深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年,致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發、生產和銷售。


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中圖儀器堅持以技術創新為發展基礎,擁有一支集光、機、電、信息技術于一體的技術團隊,歷經20年的技術積累和發展實踐,研發出了基礎計量儀器、常規尺寸光學測量儀器、微觀尺寸光學測量儀器、大尺寸光學測量儀器、常規尺寸接觸式測量儀器、微觀尺寸接觸式測量儀器、行業應用檢測設備等全尺寸鏈精密儀器及設備,能為客戶提供從納米到百米的精密測量解決方案。


中圖儀器的銷售和服務網點遍及全國三十多個省、市、自治區,產品遠銷歐、美、東南亞等海外市場,堅持為客戶提供高質量產品和服務。


中圖儀器還將繼續專注于精密測量檢測技術的發展,自強不息、知難而上、勇于創新,為中國制造技術的快速發展貢獻力量!

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產地國產 加工定制
Bump是一種金屬凸點,從倒裝焊FlipChip出現就開始普遍應用,Bump的形狀有多種,最常見的為球狀和柱狀,也有塊狀等其他形狀,下圖所示為各種類型的Bump。粗糙度測量設備
粗糙度測量設備 產品詳情

粗糙度測量設備應用

在半導體行業中,BumpRDLTSVWafer合稱先進封裝的四要素其中Bump起著界面互聯和應力緩沖的作用

Bump是一種金屬凸點,從倒裝焊FlipChip出現就開始普遍應用,Bump的形狀有多種,最常見的為球狀和柱狀,也有塊狀等其他形狀,下圖所示為各種類型的Bump

Bump起著界面之間的電氣互聯和應力緩沖的作用,從Bondwire工藝發展到FlipChip工藝的過程中,Bump起到了至關重要的作用。隨著工藝技術的發展,Bump的尺寸也變得越來越小,從最初 Standard FlipChip的100um發展到現在最小的5um
伴隨著工藝技術的高速發展,對于Bump的量測要求也不斷提高,需要把控長寬尺寸,高度均勻性,亞納米級粗糙度、三維形貌等指標。
以粗糙度指標為例,電鍍工藝后的Cu 凸點表面粗糙并存在一定的高度差,所以鍵合前需要對其表面進行平坦化處理,如化學機械拋光(CMP),使得鍵合時Cu 表面能夠充分接觸實現原子擴散由此可見把控Bump表面粗糙度是必*過程。
為了貼合工藝制程,積極響應客戶Bump 計量需求,中圖儀器以高精度、多功能合一等優勢將自研量測設備推向眾多優質半導體客戶。BOKI_1000系統支持鍵合、減薄、翹曲和切割后的基板,可以為包括切割后、預鍵合、銅焊盤圖案化、銅柱、凸塊Bump、硅通孔(TSV)和再分布層(RDL)在內的特征提供優異的量測能力。
圖片
以上為量測Bump時的實時圖像

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