| 微小液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F | 微小液體質(zhì)量流量控制器LV-F |
提供超低微小流量檢測(cè) | 提供超低微小流量控制 |
可精準(zhǔn)檢測(cè)低沸點(diǎn)和高粘度液液體 | 可精準(zhǔn)控制低沸點(diǎn)和高粘度液液體 |
抗壓性：10MPa | 抗壓性：10MPa |
超潔凈 | 超潔凈 |
HORIBA STEC 微小液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F 質(zhì)量流量控制器LV-F,具備冷卻測(cè)試方式的液體質(zhì)量流量計(jì)，可精確
檢測(cè)低沸點(diǎn)和高粘度液體的流量，儀器內(nèi)部進(jìn)行超潔凈處理并符合 RoHaS 環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)
微小液體質(zhì)量流量計(jì)LF-F
微小液體質(zhì)量流量控制器LV-F
提供超低微小流量檢測(cè)
提供超低微小流量控制
可精準(zhǔn)檢測(cè)低沸點(diǎn)和高粘度液液體
可精準(zhǔn)控制低沸點(diǎn)和高粘度液液體
抗壓性：10MPa
抗壓性：10MPa
超潔凈
超潔凈
| 型 號(hào) | LV-F20 (PO/MO) | LV-F30 (PO/MO) | LV-F40 (PO/MO) | LV-F50 (PO/MO) | LV-F60 (PO/MO) |
| 全標(biāo)度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
| 檢測(cè)控制 | 5?99% F.S. | ||||
| 對(duì)象液體 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外。 | ||||
| 液體 | 低于 0.01 Pa·s (10cp) | ||||
| 精度*3 | ±1% F.S. | ||||
| 直線性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
| 重復(fù)性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
| 響應(yīng)精度 | 3秒以內(nèi)(T98) | 2秒以內(nèi)(T98) | |||
| 使用環(huán)境 | 5?50℃(15?45℃精度的確保) | ||||
| 溫度影響 | ±0.1%F.S./℃ | ||||
| 工作差 | 0.05?0.3MPa | ||||
| 耐 壓 | 1MPa | ||||
| 壓力損失 | ー | ||||
| 流量設(shè)定 | 模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
| 流量輸出 | 模擬：0?5 VDC(*小負(fù)荷電阻2kΩ)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
| 驅(qū)動(dòng)電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
| 外部泄漏 | PO類型：1×10-8Pa?m3/s (He) MO類型：5×10-12Pa?m3/s (He) | ||||
| 接液部材質(zhì) | PO類型：SUS316L，Ni，PTFE，PFA MO類型：SUS316L，Ni | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭 | 1/16”，1/8”卡套； | 1/8”SWL類型，1/8”VCR類型 | 1/4”SWL類型1/4”VCR類型 | ||
質(zhì)量流量計(jì)
| 型 號(hào) | LF-F20M-A | LF-F30M-A | LF-F40M-A | LF-F50M-A | LF-F60M-A |
| 全標(biāo)度流量(g/min) | 0.02/0.05/0.1 | 0.2/0.5 | 1/2/5 | 10/20 | 50/100 |
| 檢測(cè)控制范圍 | 5?99% F.S. | ||||
| 對(duì)象液體種類*1 | 可腐蝕不銹鋼的HCl.HF等液體除外 | ||||
| 液體粘度*2 | 不高于 0.1 Pa·s (100cp) | ||||
| 精度*3 | ±1% F.S. | ||||
| 直線性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
| 重復(fù)性*3 | ±0.5% F.S. | ||||
| 響應(yīng)精度 | 3秒以內(nèi)(T98) | 2秒以內(nèi)(T98) | |||
| 使用環(huán)境溫度*4 | 5?50℃(15?45℃精度的確保) | ||||
| 溫度影響Span | ±0.1%F.S./℃ | ||||
| 工作差壓值值*5 | 不高于5MPa (視為流量計(jì)) / 50?300kPa (with piezo控制閥) | ||||
| 耐壓 | 10MPa (視為流量計(jì)) | ||||
| 壓力損失 | 不高于 500Pa | ||||
| 流量設(shè)定信號(hào) | 模擬：0.25?5 VDC(輸入阻抗1MΩ以上)數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
| 流量輸出信號(hào) | 模擬：0?5 VDC ；數(shù)字式：RS485(F-Net通信協(xié)議) | ||||
| 驅(qū)動(dòng)電源 | +15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA | ||||
| 外部泄漏規(guī)格 | 5×10-12Pa·m3/s (He) | ||||
| 接液部材質(zhì) | SUS316L, Ni | ||||
| 標(biāo)準(zhǔn)接頭 | 1/16”，1/8”SWL類型，1/8”VCR類型 | 1/8”SWL類型，1/8”VCR類型 | 1/4”SWL類型1/4”VCR類型 | ||
*1：LF-F/LV-F系列質(zhì)量流量控制器利用1種液體進(jìn)行了流量校正(請(qǐng)預(yù)先所使用 的液體。)
?不能檢測(cè)含有固體物的液體。
?如果混合液中混合比會(huì)發(fā)生變化時(shí)，請(qǐng)預(yù)*行咨詢協(xié)商。
?LV-F系列質(zhì)量流量控制器如果在對(duì)象液體中含有粒子等時(shí)，請(qǐng)?jiān)谝淮味?入口端)安裝0.2μm(Abs.)以下的過濾器。
*2：LF-F類型質(zhì)量流量控制器根據(jù)流量量程，可以適用到 *大值，0.1Pa?s。有關(guān)高粘度的液體請(qǐng)預(yù)*行咨詢協(xié)商。
*3： 以SEMI E56-1296為準(zhǔn)。
*4： 進(jìn)行測(cè)量?控制的液體溫度如果低于環(huán)境溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在10℃以 內(nèi)；如果高于液體溫度時(shí)，使用時(shí)請(qǐng)把溫差控制在3℃以內(nèi)。
*5：這是在粘度0.001Pa?s中的F.S.流量值。
外形尺寸：
