秉承萊寶Phoenix氦質普檢漏儀精準、穩定、長使用壽命等優點，萊寶真空2018年12月全新推出LEYSPEC系列RGA殘余氣體分析儀，為半導體 、鍍膜、冷凍干燥、熱處理及科研等行業提供了更多的過程控制分析診斷支持.
萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型用途:
檢漏
判斷真空品質
檢測工藝氣體
提高品質和良品率
故障診斷分析
判斷低溫泵再生周期
產品類別
產品系列分別提供了100、200、300原子質量單位的解決方案。
LEYSPEC view版特別適用于高真空設備，科研、環境氣氛檢測及追蹤中的殘余氣體分析。
LEYSPEC ultra版用于復雜的殘余氣體分析，靈敏度高，耐烘烤溫度高，可檢分壓低。
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萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA 客戶受益：
過程可控
LEYSPEC自帶數顯，易于現場管理
贈送軟件易于使用及分析并有報警功能
萊寶LEYSPEC殘余氣體分析儀RGA的典型應用：
半導體生產設備
鍍膜、顯示行業
真空熱處理
真空干燥
研發
Leybold Name | LEYSPEC view 100 | LEYSPEC view 100S | LEYSPEC view 200 | LEYSPEC view 200S | LEYSPEC ultra 200S | LEYSPEC ultra 300S |
Mass Range (amu) | 1-100 | 1-100 | 1-200 | 1-200 | 1-200 | 1-300 |
Mass filter type | QMS | QMS | QMS | QMS | QMS | QMS |
detector type | Faraday cup | EM/Faraday Cup | Faraday cup | EM/Faraday Cup | EM/Faraday Cup | EM/Faraday Cup |
Sensitivity (A/mbar) | 1x10-5 | 400/1x10-5 | 1x10-5 | 400/1x10-5 | 400/2.5x10-4 | 400/2.5x10-4 |
Minimum detectable | 1x10-10 | 1x10-14 | 1x10-10 | 1x10-14 | 1x10-11 | 1x10-12 |
Max operating pressure (mbar) | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 | 1x10-4 |
Filament material | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 | Ir/Y2O3 |
operating temp (°C) | 10-40 | 10-40 | 10-40 | 10-40 | 10-40 | 10-40 |
Max sensing temp (°C) | 120 | 120 | 120 | 120 | 250 | 250 |
Max. bake out temp (elec. removed) (°C) | 250 | 250 | 250 | 250 | 300 | 300 |
connection flange | DN40CF | DN40CF | DN40CF | DN40CF | DN40CF | DN40CF |
Power input | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W | DC24V +-10% 50W |
Weight (kg) | 2,6 | 2,84 | 2,6 | 2,84 | 3,21 | 3,21 |
IP | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 | 30 |
Serial communication | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 | RS232C/RS485 |
Software | ECA | ECA | ECA | ECA | ECA | ECA |
Resolution | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) | M/DeltaM=1M(10%PH) |
