KURODA黑田精工Nanometro® TT 表面形狀測量裝置
超精密表面形狀測量裝置，Nanometro® TT 系列，Nanometro® 300PT，超精密平面度測量裝置SF-640M，Nanometro® FR系列
KURODA黑田精工Nanometro® TT 表面形狀測量裝置
KURODA黑田精工Nanometro® TT 表面形狀測量裝置
超精密表面形狀測量裝置，Nanometro® TT 系列，Nanometro® 300PT，超精密平面度測量裝置SF-640M，Nanometro® FR系列
產品介紹
NanoMetro TT系列是垂直旋轉/邊緣夾持型晶圓平整度測量裝置。最小邊緣排除為 1mm，并且可以使用盒到盒進行高精度自動測量。此外，評估項目符合SEMI標準。
Nanometro® 300PT
用于成膜過程控制和夾緊過程平面度控制
水平旋轉、真空吸盤式φ300mm晶圓表面形狀檢查裝置。
最小邊緣排除為 1mm。可以逐盒進行 SORI、平面度等高精度自動測量。
Nanometro® F 系列
高精度測量晶圓、FPD玻璃基板等的表面形狀。
采用高剛性的高精度空氣平臺，可高精度測量晶圓、FPD玻璃基板、大型陶瓷平臺、精密工作臺等大型元件的表面形狀。通過簡單的操作即可輸出從表面形狀分析評價到粗糙度評價等各種數據。
“超精密平面度測量裝置SF-640M”是作為精密平面磨床加工的模具等工件的精度評價系統而開發的。本機應用了作為本公司的硅晶片用超精密測量裝置的「納米Metro」的技術和經驗技術，使平面和邊緣的高精度的評價成為可能，用鳥瞰圖和斷面圖，等高線等各種各樣的形式評價平面形狀。
Nanometro® FR 系列
陶瓷板等平面度的高精度測量
配備旋轉氣動工作臺，可測量直徑達 1000mm 的圓盤表面形狀，例如用于晶圓拋光的陶瓷板和研磨臺。我們提供支持各種測量的軟件，包括用于詳細評估的同心測量和用于粗略評估的徑向測量。
