流量傳感器規格書
流量傳感器概述
所有氣體質量流量傳感器均通過熱交換運行——流動和壓差。硅芯片設計源自薄膜、隔熱橋結構，包含加熱和熱敏組件。這可以對空氣或氣體流量和方向作出快速響應，提供相應的輸出電壓。放大型能提供更強的輸出信號和更少的外部電路，而未放大型可選擇更多的外部電路。
霍尼韋爾 Zephyr™ HAF 系列傳感器為的滿量程流量范圍及溫度補償范圍內讀取氣流數據提供一個數字界面。隔熱加熱器和溫度感應元件可幫助傳感器對空氣流或其他氣流做出快速響應。
Zephyr 傳感器旨在測量空氣和其他無腐蝕性氣體的質量流量。標準流量范圍為 10 SLPM、15 SLPM、20 SLPM、50 SLPM、100 SLPM、200 SLPM 或 300 SLPM，另具可定制化的流量范圍供您選擇。這些傳感器利用電路板上的專用集成電路 (ASIC) 進行全面的校準和溫度補償。
HAF 系列 >10 SLPM 已經在經校準的 0 °C 至 50 °C [32 °F 至 122 °F] 溫度范圍進行補償。的基于 ASIC 的補償能夠實現數字 (I2C) 輸出和 1 毫秒的響應時間。
這些傳感器根據熱傳遞原理測量氣流的質量流量。它們由含有熱電阻微橋的微機電傳感系統 (MEMS) 組成，薄膜鉑電阻沉積于氮化硅薄膜上。MEMS 傳感芯片位于精密設計的氣流通道內，提供對于流量的可重復響應。
Zephyr 傳感器可以為客戶提供增強的可靠性、高準確度、可重復測量等性能，并且能夠定制傳感器以滿足許多具體的應用要求。堅固外殼和穩定基底相結合使得這些產品極其堅固耐用。它們的設計與制造符合 ISO 9001 標準。
