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  • EVG805-薄晶圓解鍵合系統(tǒng)

EVG805-薄晶圓解鍵合系統(tǒng)

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  • 型號(hào)
  • 品牌
  • 所在地上海
  • 更新時(shí)間2024-06-18
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 所在地區(qū)上海
  • 實(shí)名認(rèn)證已認(rèn)證
  • 產(chǎn)品數(shù)量100
  • 人氣值790
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EVG鍵合機(jī)EVG805應(yīng)用:薄晶圓解鍵合一、簡(jiǎn)介EVG805是半自動(dòng)系統(tǒng)(晶圓鍵合機(jī)),用于剝離臨時(shí)鍵合和加工過(guò)的晶圓疊層,該疊層由器件晶圓,載體晶圓和中間臨時(shí)鍵合膠組成
EVG805-薄晶圓解鍵合系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

EVG鍵合機(jī)EVG805應(yīng)用:薄晶圓解鍵合

一、簡(jiǎn)介

EVG805是半自動(dòng)系統(tǒng)晶圓鍵合機(jī),用于剝離臨時(shí)鍵合和加工過(guò)的晶圓疊層,該疊層由器件晶圓,載體晶圓和中間臨時(shí)鍵合膠組成。該工具支持熱剝離或機(jī)械剝離。可以將薄晶圓卸載到單個(gè)基板載體上,以在工具之間安全可靠地運(yùn)輸。

二、EVG鍵合機(jī)特征


  • 開(kāi)放式膠粘劑平臺(tái)


  • 解鍵合選項(xiàng):


  • 熱滑解鍵合


  • 解鍵合


  • 機(jī)械解鍵合


  • 程序控制系統(tǒng)


  • 實(shí)時(shí)監(jiān)控和記錄所有相關(guān)過(guò)程參數(shù)


  • 薄晶圓處理的功能


  • 多種卡盤(pán)設(shè)計(jì),可支撐300 mm的晶圓/基板和載體


  • 高形貌的晶圓處理

三、EVG鍵合機(jī)技術(shù)數(shù)據(jù)


  • 晶圓直徑(基板尺寸):晶片300 mm、高達(dá)12英寸的薄膜


  • 組態(tài):1個(gè)解鍵合模塊

四、選件


  • 紫外線輔助解鍵合


  • 高形貌的晶圓處理


  • 不同基板尺寸的橋接能力


關(guān)鍵詞:控制系統(tǒng)
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