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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

上海德竹芯源科技有限公司是一家專(zhuān)注于功率器件、光電器件、射頻器件、量子器件、MEMS傳感器領(lǐng)域的設(shè)備銷(xiāo)售、系統(tǒng)集成、設(shè)備國(guó)產(chǎn)化的公司。主要為高校、研究所、中試量產(chǎn)線及晶圓FAB廠提供半導(dǎo)體工藝設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備、封裝設(shè)備、測(cè)試設(shè)備。目前公司已成為國(guó)內(nèi)少數(shù)幾家專(zhuān)業(yè)提供半導(dǎo)體工藝、檢測(cè)、封裝、測(cè)試整體解決方案的企業(yè)。公司主要成員為復(fù)旦大學(xué)、上海微系統(tǒng)所等半導(dǎo)體相關(guān)專(zhuān)業(yè)博士，擁有一支經(jīng)驗(yàn)豐富、技術(shù)過(guò)硬的團(tuán)隊(duì)。能夠出色地完成售前售中、售后的服務(wù)。目前公司已與眾多國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)建立了良好的合作關(guān)系(如:EVG、SAWNATEC、SENTECH、PICOSUN、SYSKEY、 Mavemn Panalyrical、PHL-CHINA、TEMPRESS,ROHDE&SCHWARZ、MPI等)，致力于根據(jù)用戶的科研方向和量產(chǎn)的器件類(lèi)別提供相應(yīng)的全套設(shè)備選型和工藝整體解決方案。

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產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

PICOSUN® R-200 標(biāo)準(zhǔn) ALD 系統(tǒng)適用于數(shù)十種應(yīng)用的研發(fā)，例如 IC 組件、MEMS 設(shè)備、顯示器、LED、激光器和 3D 對(duì)象，例如透鏡、光學(xué)器件、珠寶、硬幣和醫(yī)療植入物。

R-200 Standard 原子層沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品詳情

標(biāo)準(zhǔn)基板尺寸與類(lèi)型

● 50 mm - 200 mm 單晶片

● 156 mm × 156 mm 太陽(yáng)能硅晶片

● 3D 對(duì)象

● 粉末和顆粒

● 小批量

● 多孔、通孔和高縱橫比（高達(dá) 1：2500）

工藝溫度

● 50℃ - 500℃

標(biāo)準(zhǔn)工藝

● Al₂O₃、TiO₂、SiO₂、Ta₂O₅、HfO₂、ZnO、ZrO₂、TiN、AlN、Pt 或 Ir 等金屬

基板裝載

● 使用氣動(dòng)升降機(jī)手動(dòng)裝載

● 帶磁性機(jī)械臂的負(fù)載鎖

前驅(qū)體

● 液體、固體、氣體、臭氧

● 多達(dá) 6 個(gè)源、帶 4 個(gè)獨(dú)立入口

其他選項(xiàng)

● Picoflow™ 擴(kuò)散增強(qiáng)劑、RGA、N₂ 發(fā)生器、氣體洗滌器、定制設(shè)計(jì)、惰性裝載手套箱兼容性

關(guān)鍵詞：標(biāo)準(zhǔn) 發(fā)生器手套箱

熱門(mén)產(chǎn)品

產(chǎn)品名稱(chēng)	參考價(jià)	地區(qū)	公司名稱(chēng)	更新時(shí)間
R-200 Advance 原子層沉積系統(tǒng)	面議	上海	上海德竹芯源科技有限公司	2024-08-11	在線詢價(jià)
P-300B 原子層沉積系統(tǒng)	面議	上海	上海德竹芯源科技有限公司	2024-08-11	在線詢價(jià)
等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)	面議	上海	上海德竹芯源科技有限公司	2024-08-10	在線詢價(jià)
芬蘭Picosun原子層沉積系統(tǒng)	面議	廣州市	廣州納儀科技有限公司	2024-05-12	在線詢價(jià)
等離子體增強(qiáng)原子層沉積系統(tǒng)	面議	上海	上海德竹芯源科技有限公司	2024-01-19	在線詢價(jià)
P-300B 原子層沉積系統(tǒng)	面議	上海	上海德竹芯源科技有限公司	2024-01-17	在線詢價(jià)

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