MCES防腐標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器描述
MCES 系列防腐蝕 SEMI 標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器 配備 1/4 英寸 VCR 接頭，并與 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) MFC 端到端匹配，以便輕松升級到真空沉積夾具。控制 128 多種氣體的質(zhì)量流量或壓力，包括 30 多種腐蝕性氣體。
插入式兼容性。外形包括焊接的 1/4 英寸 VCR 配件，并匹配 124 毫米端到端長度的 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) MFC。
腐蝕性氣體相容性。與 30 多種純腐蝕性氣體和大多數(shù)制冷劑氣體兼容的接液材料。
用途廣泛且準(zhǔn)確。對于 128 種以上的氣體和 20 種自定義氣體混合物，實(shí)時(shí)控制具有 NIST 可追溯的精度至讀數(shù)的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%。
易于集成。 定制過程端口和電氣連接器，以及您選擇的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便輕松集成到您的工業(yè)過程中。
MCES 系列性能（大多數(shù)產(chǎn)品）
可用滿量程范圍： 0.5 SCCM 至 20 SLPM
穩(wěn)態(tài)控制范圍：滿量程的 1% – 99%
標(biāo)準(zhǔn)精度校準(zhǔn)，NIST 可溯源：讀數(shù)的 ± 0.8% 和滿量程的 ±0.2%
可選的高精度校準(zhǔn)，NIST 可溯源：讀數(shù)的 ±0.4% 或滿量程的 ±0.2%
重復(fù)性：滿量程的±0.2%
典型控制響應(yīng)時(shí)間： 30 ms
預(yù)熱時(shí)間： <1 s
MCES/MCVS 系列工作條件
兼容氣體： 128 多種預(yù)加載的可選氣體校準(zhǔn)
工作溫度： –10°C 至 +60°C
滿量程工作壓力： 160 PSIA
壓差： 75 PSID
耐壓： 200 PSIA
用戶可選擇的參考條件（默認(rèn)）： 25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)
MCES防腐標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器設(shè)備特點(diǎn)
每個(gè)設(shè)備都包含
多變量過程測量：同時(shí)測量質(zhì)量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。
用戶可更改的測量單位：從我們廣泛的工程單位列表中更改壓力、流量或溫度的測量單位。
氣體可選性： 從我們氣體列表中的 98 多種預(yù)加載 NIST 可溯源氣體校準(zhǔn)中選擇您的工藝氣體 。
Gas Select COMPOSER™： 使用我們的Gas Select Composer ™ 固件定義多達(dá) 5 種成分氣體的 20 種自定義氣體混合物。
帶集成觸摸板的單色背光 LCD： 使用背光顯示屏和控制配置以及用戶友好的集成觸摸板輕松讀取測量值。
用戶可調(diào)節(jié)的設(shè)定點(diǎn)斜坡和限制：可配置的斜坡率允許根據(jù)需要控制過程變量的快或慢，可配置的設(shè)定點(diǎn)限制可保護(hù)過程免受無意的設(shè)定點(diǎn)更改。
用戶可調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力 (STP) 條件： 快速 更改參考條件 ，無需重新校準(zhǔn)。
閥門關(guān)閉覆蓋和閥門打開覆蓋：利用警報(bào)快速排放系統(tǒng)或根據(jù)需要停止所有流量。
MCES防腐標(biāo)準(zhǔn)氣體質(zhì)量流量控制器配件
工藝端口接頭和過濾器
電源
通信電纜和轉(zhuǎn)換電纜
BB3 和 BB9 多點(diǎn)分線盒
關(guān)于我們
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深圳市展業(yè)達(dá)鴻科技有限公司成立于2012年，是一家從事醫(yī)療質(zhì)控儀器,儀表,影像模體銷售和訂制的公司,可為科研、教育、航空、制造業(yè)等領(lǐng)域提供完整可靠地解決方案。擁有多個(gè)國際的資質(zhì)，數(shù)千種進(jìn)口檢測儀器儀表產(chǎn)品及配件；目前本公司的產(chǎn)品應(yīng)用于各醫(yī)療制造生產(chǎn)企業(yè)、科研院所、高等院校、、疾病預(yù)防控制中心、衛(wèi)生監(jiān)督所、出入境檢驗(yàn)檢疫、醫(yī)學(xué)院及各附屬醫(yī)院等領(lǐng)域。公司目前處于快速成長發(fā)展階段，主要產(chǎn)品包括：醫(yī)學(xué)信號模擬器，醫(yī)學(xué)測試分析儀器，電子儀器儀表，輻射檢測儀器，氣體分析與檢測，客戶需求定制服務(wù)等。 我公司本著“誠信，用戶至上”的經(jīng)營理念，為廣大用戶提供各類質(zhì)量優(yōu)良、價(jià)格合理的檢測設(shè)備。同時(shí)，給客戶提供良好的售前及售后服務(wù)，在友好的合作中謀求共同發(fā)展。
