1、產品介紹
無氧烘箱通過氮氣或者氬氣等惰性氣體替換烘箱內的空氣，營造無氧環境，將氧氣水平保持低至100PPM以內，以保護產品在高溫條件下不被氧化。這使得該系列非常適合 MLCC 和 LTCC 脫脂，以及各類抗氧化熱處理。無氧烘箱采用專有的腔室結構和密封技術，具有出色的氣密性和溫度均勻性。同時可以選配冷卻水循環的外部冷卻機構，可以在不影響爐內氣氛的情況下進行快速冷卻，從而縮短處理時間。適用于固化半導體晶圓（光刻膠PI, PBO固化），IC封裝（銅基板，銀膠，硅膠，環氧樹脂），玻璃基板烘烤，高精度退火處理等。
2、產品特點
● 箱體采用全氬弧焊焊接保證了持續的箱體密封性
● 自動充氮系統
● 外部采用烤漆
● 配置不銹鋼層架
● 耐高溫硅橡膠門封條
● 多重保護裝置（超溫保護，馬達保護，電器保護）
3、選配功能
● 加裝HEPA高效過濾系統
● 氧氣含量分析儀
● 水冷降溫系統
● 定制治具
● 觸摸屏集成控制
● 無紙記錄儀
● 485通訊或以太網通訊
● 外部采用不銹鋼材
4、產品參數
| 型號 | YH-OXY-02 | YH-OXY-2SH |
| 含氧控制 | 1%以內，500PPM，100PPM | |
| 溫度范圍 | Room temp. +20~200℃ | |
| 控溫精度 | +/- 1.0℃ | |
| 控溫均勻性 | ±2℃ （at 100℃）, ±3℃（at 150℃） | |
| 升溫時間 | About 25min（Room temp.→150℃）. empty chamber | |
| 控制 | Optional for fixed temp. or program operation | |
| 內尺寸H*W*D | 910*620*620（mm） | （600*2）*720*600（mm） |
| 外尺寸H*W*D | 7150*855*1030（mm） | 1805*1340*865（mm） |
| 容量 | 350L | 260L*2 |
| 電源 | 3 phase AC380V | |
5、非標定制
● 針對封裝行業，支架清洗后，進行烘干，定制門非標尺寸
● 針對IC封裝，定制多門多控充氮烘箱。
