一、應用領域：
該設備為高真空ITO箱式鍍膜設備，主要用于沉積AZO、GZO等系列透明導電膜，金屬薄膜，半導體薄膜等，也可用于其他功能性薄膜的沉積。
1. 系統可實現ITO、AZO、GZO等系列透明導電膜的研究與工藝探索；
2. 可以完成單金屬、合金、多層膜的濺射沉積；
3. 可以完成氧化物、氮化物、碳化物等介質膜的反應濺射沉積；
4. 可以實現SiO2、Al2O3等絕緣材料的濺射沉積；
5. 可以進行含有上述多層膜的功能膜研究開發；
二、性能參數：
1、雙腔室結構（含工藝腔室及進出樣室）；
2、濺射樣品尺寸約450×250mm；
3、磁控濺射靶四支，其中兩支為孿生靶，控制電源為兩套直流電源和一套中頻電源；
4、配三路氣體及相應流量控制器；
5、配備軸向線性往復運動樣品臺；
6、在線膜厚檢測裝置；
7、加熱及溫控系統，保證腔室能夠加熱至500℃；
| 產品名稱 | 參考價 | 地區 | 公司名稱 | 更新時間 | |
|---|---|---|---|---|---|
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| 新質PH/ORP電極 分體式結構 | 面議 | 無錫市 | 無錫東原儀表科技有限公司 | 2024-08-26 | 在線詢價 |
| 在線數字氯離子電極 | 面議 | 上海市 | 上海博取儀器有限公司 | 2025-03-10 | 在線詢價 |
| 在線工業PH電極 | ￥500 | 上海市 | 上海博取儀器有限公司 | 2025-03-10 | 在線詢價 |
| 在線電導率電極 | 面議 | 無錫市 | 無錫市興洲儀器儀表有限公司 | 2025-02-11 | 在線詢價 |
| 電導率電極變送器 | 面議 | 上海市 | 夏羅登工業科技（上海）股份有限公司 | 2025-05-12 | 在線詢價 |
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