紫外臭氧清洗機原理：

通過紫外燈發出適當強度的185nm和254nm波長高能紫外線破壞有物分子(污染物)。185nm波長紫外光的光能量能將空氣中的氧氣(O2)分解成臭氧(O3)，而254nm波長的紫外光的光能量能將O3分解成O2和原子氧(O)，  254 nm紫外線同時激發表面的有機物分子，提高其敏感性，可以被臭氧分子團破壞。在連續進行的光敏氧化反應中，生成的活性原子氧(O)與活化了的有機物(即碳氫化合物)分子發生氧化反應，生成揮發性氣體(如CO2，CO, H2O,NO等)逸出材料表面，從而清除粘附在材料表面上的碳和有機污染物，達到清洗的目的。

應用領域：

u 石英/玻璃制品的表面清洗：液晶面板,等離子電視屏幕,彩色過濾片,光罩,棱鏡,透鏡,反射鏡,平板電視等。

u 微電子產品的表面清洗：微型馬達軸,磁頭驅動架,光盤,光電器件,手機攝像頭,微型喇叭/受話器震膜,半導體硅片,掩膜版。

u 精密集成電路的表面清洗：液晶顯示器ITO,精密電路板,軟性電路板接頭,BGA基板的清洗,COG的清洗,COF(ILB)接合面的清洗,薄膜基板的清洗,金屬基板的清洗,BGA基板與粘結墊的清洗。

u 在膠粘接或是印刷之前，對高分子聚合制品的表面改性：橡膠粘接，塑料汽車部件，透鏡保護膜,塑料薄膜,樹脂成型空氣袋,IC包裝,注射針接合部分的表面性,介入導管的表面改型等。

u 科研過程的表面清洗及處理：半導體，生物芯片，納米材料，聚合物，光化學等。

產品特點

u 基礎型系列采用可編程數字控制器，設置操作簡單方便，四鍵操作控制。P、T系列采用5寸彩色觸摸屏中英文互動操作界面，設置顯示計時時間及加熱溫度。

u 自動補償功能，自動恒定光強光密度，不會因為低壓汞燈老化光強衰減影響清洗效果。

u 數字倒計時顯示清洗時間，1-999分鐘之間可自行設置清洗時間。

u 任何時間可以手動中斷處理過程。

u 自動記錄之前清洗參數設置。

u 樣品臺可控溫（可選），控溫范圍RT-200℃，控溫精度0.1℃。

u 頂置下壓式鉸鏈開關蓋方式，操作簡單方便。

u 上置式樣品臺設計，360度自由放置樣品，操作方便。

u 樣品臺高度可調，通過調節燈與樣品之間的間距，可以合理定位樣品高度和位置，并可鎖定。

u UV石英低壓汞蒸汽格柵燈，燈管壽命大約為8000小時。

u 高強度UV燈源，波長185nm和254nm。

u 可累計計時UV格柵燈使用時長，更換提示。

u UV反射罩（長X寬）比UV格柵燈大25mm。

u 雙重安全保護，帶有安全鎖，當清洗腔打開時，系統自動關掉UV燈，并有燈光通斷提示。

u 帶進&出氣口雙氣路設計。

u 可接入氧氣或者臭氧，增加臭氧產量。

u 5（型號）可選外置臭氧中和器，9（型號）、13（型號）系列可選外置或者內置臭氧中和器，用于臭氧清除。

u 可根據客戶要求定制鋁或石英材料真空反應腔。

技術參數