小型真空高低溫探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)用于測(cè)試半導(dǎo)體晶圓、芯片在高低溫下的電學(xué)性能,如載流子遷移率、電阻率、擊穿電壓等,有助于研究半導(dǎo)體材料的特性和器件的性能優(yōu)化。
小型真空高低溫探針臺(tái)技術(shù)參數(shù)
腔體
樣品臺(tái)尺寸:1.5英寸
樣品固定方式:彈簧壓片
觀察窗口:2英寸
真空度:10-3torr(機(jī)械泵)/10-6torr(分子泵)
探針臂接口:最多6個(gè)探針臂接口
其它接口:多6個(gè)探針臂接口
制冷方式:電信號(hào)接口、真空接口、控溫接口液氨
控溫方式:溫控器
溫度范圍:77K-473K/573K/873K/
溫度分辦率:0.1K/0.01K/0.001K
穩(wěn)定性:士1K/士0.1K/士0.01K
顯微鏡
移動(dòng)形式:全范圍移動(dòng)
光源:同柚光源
CCD:1200萬像素
顯微鏡倍率:0.6X-5X
光學(xué)放大倍率:18-200倍
調(diào)焦行程:42mm
探針臂
X Y- 行程:Y50mm+XYZ12mm*12mm*12mm
組成結(jié)構(gòu):外置採(cǎi)針臂,真空波線管績(jī)構(gòu)
移動(dòng)精度:2um/0.5um
探針夾具
線纜:同軸線/三軸線
漏電精度:10pA/100fA/10fA
探針固定:螺絲固定
接頭類型:BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
探針
頻率支持:DC-100Mhz
針尖大小:0.2um/1um/2um/5um/10um/20um/50um/100um
材質(zhì):鎢鋼/鈹銅