規(guī)格參數(shù)
technical parameter| 光學(xué)系統(tǒng) | 無(wú)限遠(yuǎn)色差校正光學(xué)系統(tǒng) |
| 觀(guān)察方式 | 明場(chǎng)/暗場(chǎng)/偏光/DIC |
| 觀(guān)察筒 | 無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀(guān)察頭,5°-35°傾角可調(diào),倒像,瞳距調(diào)節(jié)50-76mm,三檔式分光比:50:50或100:0或0:100 |
| 無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀(guān)察筒，30°傾斜，正像，瞳距調(diào)節(jié):50-76mm, 分光比100:0或0:100 | |
| 無(wú)限遠(yuǎn)鉸鏈三通觀(guān)察頭，30°傾斜，倒像，瞳距調(diào)節(jié)范圍50-76mm，三檔式分光比，0∶100或20∶80或100 :0 | |
| 目鏡 | 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/25mm，視度可調(diào)，可帶單刻度十字分劃板 |
| 高眼點(diǎn)大視野平場(chǎng)目鏡PL10X/26.5mm，視度可調(diào)，可帶單刻度十字分劃板 | |
| 物鏡 | 無(wú)限遠(yuǎn)明暗場(chǎng)半復(fù)消金相DIC物鏡5X10X 20X 50X 100X |
| 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消金相DIC物鏡20X | |
| 無(wú)限遠(yuǎn)長(zhǎng)工作距明暗場(chǎng)半復(fù)消金相物鏡50X100X | |
| 無(wú)限遠(yuǎn)明場(chǎng)半復(fù)消金相DIC物鏡5X10X 20x 5OX100X | |
| 轉(zhuǎn)換器 | 明暗場(chǎng)五孔/六孔轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽 |
| 明場(chǎng)六孔/七孔轉(zhuǎn)換器，帶DIC插槽 | |
| 調(diào)焦機(jī)構(gòu) | 反射式機(jī)架,前置低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm.帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置．內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng).帶光亮度設(shè)定按鈕與復(fù)位按扭 |
| 載物臺(tái) | 右手位8英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié);平臺(tái)面積525mmX330mm，移動(dòng)范圍∶210mmX210mm ;帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng);反射配金屬平臺(tái)，透反配玻璃平臺(tái) |
| 右手位6英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié);平臺(tái)面積445mmX240mm，移動(dòng)范圍:158mmX158mm ;帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)快速移動(dòng);反射配金屬平臺(tái)，透反配玻璃平臺(tái) | |
| 照明系統(tǒng) | 明暗場(chǎng)反射照明器，帶可變孔徑光闌，視場(chǎng)光闌，中心均可調(diào);帶明暗場(chǎng)照明切換裝置﹔帶濾色片插槽與偏光裝置插槽 |
| 攝影攝像 | 0.5X/0.65X/1X攝像接筒，C型接口,可調(diào)焦 |
| 其他 | 起偏鏡插板，固定式檢偏鏡插板，360°旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板﹔反射用干涉濾色片組;高精度測(cè)微尺;DIC微分干涉組件 |
更多說(shuō)明
Product details支持300mm晶圓及17英寸液晶面板的檢查，含4、6、8、12英寸多種轉(zhuǎn)盤(pán),可適用不同尺寸的晶圓檢查。人機(jī)工程學(xué)設(shè)計(jì)全面提升，為用戶(hù)提供更加舒適、靈活、快捷的操作體驗(yàn)。
多檔分光比觀(guān)察頭設(shè)計(jì)
采用寬光束成像系統(tǒng)設(shè)計(jì),觀(guān)察視野，支持26.5mm,帶給您全新的大視野體驗(yàn)。
保證樣品的移動(dòng)方向與您通過(guò)目鏡觀(guān)察到的方向一致，使操作更加得心應(yīng)手。
三檔式鉸鏈三目觀(guān)察筒,在成像光線(xiàn)99%用于雙目觀(guān)察或三目攝影的基礎(chǔ)上,增加一檔20%用于雙目觀(guān)察,80%用于顯微攝影，方便用戶(hù)同時(shí)對(duì)鏡下圖像與視頻圖像進(jìn)行對(duì)比觀(guān)察。
安全穩(wěn)固的機(jī)架結(jié)構(gòu)
機(jī)身采用低重心、高剛性、高穩(wěn)定性全金屬型工業(yè)檢測(cè)專(zhuān)用機(jī)架，具備的抗震、吸震能力，保證觀(guān)察圖像的穩(wěn)定性。
高性能物鏡轉(zhuǎn)換器
采用精密軸承設(shè)計(jì)的高性能物鏡轉(zhuǎn)換器,轉(zhuǎn)動(dòng)手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制。
大行程機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)
采用8英寸三層機(jī)械移動(dòng)平臺(tái)，可適用于相應(yīng)尺寸的晶圓或FPD檢測(cè)、電路封裝、電路基板、材料、鑄件金屬陶瓷部件、精密磨具的檢測(cè)、可觀(guān)察較厚的標(biāo)本。平臺(tái)面積525mm×330mm，移動(dòng)范圍210mm×210mm，采用離合器手柄，只需握住手柄即可靈活移動(dòng)。另可選6英寸平臺(tái)觀(guān)察對(duì)應(yīng)樣品。平臺(tái)面積445mm ×240mm，移動(dòng)范圍158mm×158mm，離合平臺(tái)操作方式與8英寸相同。
豐富多樣的各項(xiàng)附件
可滿(mǎn)足多種工作環(huán)境與觀(guān)察模式為您展現(xiàn)真實(shí)、清晰的顯微圖像
級(jí)大視野目鏡
配置25mm 寬視野目鏡，相對(duì)于常規(guī)22mm 的視場(chǎng)范圍，視野更加平坦、寬廣，并且視場(chǎng)邊緣都能保證清晰明亮，給用戶(hù)更加舒適的視覺(jué)感受。提供更加平坦的觀(guān)察范圍，提高工作效率。更大值域屈光度調(diào)節(jié)范圍可滿(mǎn)足更多用戶(hù)的使用需求。
長(zhǎng)工作距物鏡
配置全套專(zhuān)業(yè)半復(fù)消色差金相物鏡，采用高透過(guò)率鏡片和的鍍膜技術(shù)。長(zhǎng)工作距設(shè)計(jì)，可有效避免用戶(hù)在切換時(shí)物鏡與樣品發(fā)生碰撞。配置20X長(zhǎng)工作距物鏡，滿(mǎn)足工業(yè)檢測(cè)領(lǐng)域的需求。每個(gè)鏡頭均嚴(yán)格挑選高透過(guò)率的鏡片和的鍍膜技術(shù)，可真實(shí)還原樣品的自然色彩。
諾曼爾斯基微分干涉襯比系統(tǒng)
采用高性能微分干涉組件，可以將明場(chǎng)觀(guān)察下無(wú)法檢測(cè)的細(xì)微高低差，轉(zhuǎn)化為高對(duì)比度的明暗差并以立體浮雕形式表現(xiàn)出來(lái)，廣泛用于LCD導(dǎo)電粒子、精密磁盤(pán)表面劃痕檢測(cè)等領(lǐng)域。
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