CEM3000系列中圖儀器掃描電鏡設(shè)備用于對樣品進(jìn)行微觀尺度形貌觀測和分析。無需占據(jù)大量空間來容納整個(gè)電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實(shí)時(shí)呈現(xiàn)所得結(jié)果。在工業(yè)領(lǐng)域展現(xiàn)出廣泛的應(yīng)用價(jià)值，標(biāo)配有高性能二次電子探頭和多象限背散射探頭、并可選配能譜儀、低真空系統(tǒng)，能滿足用戶對多類型樣品的觀測需求，實(shí)現(xiàn)微觀的形貌和元素分析等。
CEM3000系列中圖儀器掃描電鏡設(shè)備采用鎢燈絲電子槍，其電子槍發(fā)射電流大、穩(wěn)定性好，以及對真空度要求不高，使得鎢燈絲臺式掃描電鏡能夠在較短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的工作狀態(tài)并獲得清晰的圖像，從而提高了檢測效率，節(jié)省了時(shí)間成本，特別適用于需要快速獲取結(jié)果的應(yīng)用場景，如工業(yè)生產(chǎn)中的質(zhì)量控制、快速篩選樣品等。
產(chǎn)品功能
1.高分辨率，滿足用戶觀測需求；
2.快速抽放氣，縮短等待時(shí)間；
3.高易用性
可快速成像，一鍵成片；
4.多種成像參數(shù)
滿足專業(yè)用戶的調(diào)節(jié)需求；
5.高抗振防磁性能
強(qiáng)抗干擾能力；
6.可選配低真空模式，保證用戶能夠根據(jù)需要設(shè)定電鏡樣品倉內(nèi)真空度，進(jìn)而對不同類型的樣品進(jìn)行觀測。
7.大樣品倉
SEM3000A在保證較小外形尺寸同時(shí)，具有比肩立式電鏡的大倉室，從而容納更大尺寸樣品；
8.多探測器
可實(shí)現(xiàn)四分窗同時(shí)掃描成像。
應(yīng)用場景
材料科學(xué)：納米材料（如60nm銀線）、高熵合金粉末、氧化鋅等微觀結(jié)構(gòu)分析。
新能源：太陽能電池板缺陷檢測、涂層性能評估。
生物醫(yī)療：微流控芯片表面形貌觀測、藥物載體研究。
工業(yè)質(zhì)檢：錫球顆粒焊接質(zhì)量、精密器件表面粗糙度檢測。
應(yīng)用案例
金屬材料分析
花粉微觀形態(tài)
機(jī)型選擇
CEM3000A（大樣品倉型）：70mm×70mm樣品倉，兼容大尺寸或多樣品批量分析。
CEM3000B（抗振型）：專為振動(dòng)環(huán)境設(shè)計(jì)，抽氣更快（低真空僅40秒），成像更穩(wěn)定。
部分技術(shù)指標(biāo)
型號 | CEM3000A（大樣品倉型） | |
電子槍 | 燈絲 | 鎢燈絲 |
分辨率 | 優(yōu)于4nm(SE)，優(yōu)于8nm(BSE) @20kV | |
加速電壓 | 1 ~ 20kV | |
放大倍數(shù) | 電子圖：40 ~ 200,000×（可選配大圖拼接） | |
探測器 | 二次電子 | 標(biāo)配 |
背散射電子 | 標(biāo)配（四象限高分辨探頭） | |
能譜儀 | 選配 | |
自動(dòng)化軟件 | 標(biāo)配：自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦、自動(dòng)消像散、一鍵圖像增強(qiáng) | |
選配：顆粒度統(tǒng)計(jì)、孔隙率測量、纖維測量、三維粗糙度重建 | ||
真空系統(tǒng) | 真空度 | 高真空：優(yōu)于9×10-3Pa 低真空：5 ~ 100 Pa（選配） |
抽真空時(shí)間 | 低真空模式 < 1.5min 高真空模式 < 3min | |
樣品臺 | 自動(dòng)軸 | X，Y，T |
手動(dòng)軸 | R，Z | |
行程范圍 | X: 50mm | |
Y: 50mm | ||
R: 0°~360°（手動(dòng)旋轉(zhuǎn)、電子束旋轉(zhuǎn)） | ||
T: -22.5°~ +22.5° | ||
Z: 45mm | ||
樣品尺寸 | 70mm×70mm（水平） 45mm（高度） | |
倉內(nèi)相機(jī) | 導(dǎo)航相機(jī) | 標(biāo)配高分辨彩色相機(jī) |
側(cè)視相機(jī) | 標(biāo)配高分辨紅外相機(jī) | |
操作系統(tǒng) 圖片尺寸 | Windows10 (64bit) | |
640×480 | ||
1280×960 | ||
2560×1920 | ||
5120×3840 | ||
10240×7680 | ||
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