CDG-500 電容薄膜規管
Agilent CDG-500 系列溫度補償電容薄膜規管可以在高壓范圍內提供較高精度。可提供從 1000 Torr 至 1 Torr 的全量程測量。CDG-500 系列采用耐腐蝕的超純氧化鋁瓷隔膜，可提供超常的信號穩定性，并具有從大氣環境中快速恢復、預熱時間短和堅固性的特點。
特性
- 全量程從 1 至 1000 Torr，按鈕調零，可選設定點控制使一體化更加方便
- 優異的長期信號穩定性和重現性
- 從大氣壓下恢復迅速，啟動后迅速達到穩定狀態，縮短了過程循環時間
- 采用耐腐蝕陶瓷傳感器和屏蔽保護，確保了堅固耐用
性能指標
技術指標
| 測量范圍（全量程） | Torr | 1000 | 100 | 10 | 1 | |||
| Pa | 133,322 | 13,332 | 1,333 | 133 | ||||
| mbar | 1333 | 133 | 13.3 | 1.3 | ||||
| 讀數 (%) | 0.2 | 0.2 | 0.2 | 0.2 | ||||
| 溫度效應 | 零 | 全量程%/°C | 0.005 | 0.005 | 0.005 | 0.015 | ||
| 零 | 跨度 | 讀數 (%)/°C | 0.01 | 0.01 | 0.01 | 0.01 | ||
| 分辨率 | 全量程% | 0.003 | 0.003 | 0.003 | 0.003 | |||
| 壓力 | kPa（壓力） | 400 | 260 | 260 | 260 | |||
| 讀數 | 全量程% | 0.01 | ||||||
| 建議讀數 | 全量程% | 0.05 | ||||||
| 建議控制壓力 | 全量程% | 0.05 | ||||||
| 溫度 | 操作（周圍環境） | 烘烤溫度 | 儲存 | |||||
| （法蘭處）2 | ||||||||
| 5 到 50 ℃ | < 110 °C | –40 到 65 °C | ||||||
| 電源電壓 | 14 到 30 VDC | |||||||
| 能耗 | < 1 W | |||||||
| 輸出信號（模擬） | 0 到 10 VDC | |||||||
| 響應時間 | 30 ms | |||||||
| 防護等級 | IP30 | |||||||
| 電氣連接 | D-Sub，15 針，內螺紋 | |||||||
| 設定點3 — 二 (2) 個設定點，SP 1 和 SP 2 | 繼電器觸點 | 滯后 | ||||||
| 30 VDC；< 0.5 ADC | 全量程的 1% | |||||||
| 暴露于真空中的材料 | 氧化鋁陶瓷 (Al2O3)，Vacon 704，不銹鋼 (AlSl 316L5) AgCuTi 釬焊，密封玻璃 | |||||||
外形圖
