低壓手動(dòng)鎖定型隔膜閥特點(diǎn)
?一路進(jìn)二路出的氣流方向
?充分利用空間
?zui小死區(qū)
?釋放出氣
?確保產(chǎn)生的微粒為zui小化
?zui小的濕氣、氧氣和氫氣分流
?激光打印標(biāo)記；材質(zhì)經(jīng)過獨(dú)立機(jī)構(gòu)測(cè)試認(rèn)證
?在潔凈室中進(jìn)行電解拋光，D.I.水處理，裝配，測(cè)試和包裝
BDV 低壓手動(dòng)鎖定型隔膜閥
低壓手動(dòng)鎖定型隔膜閥
STD型
特點(diǎn)
l 一路進(jìn)二路出的氣流方向
l 充分利用空間
l zui小死區(qū)
l 釋放出氣
l 確保產(chǎn)生的微粒為zui小化
l zui小的濕氣、氧氣和氫氣分流
l 激光打印標(biāo)記；材質(zhì)經(jīng)過獨(dú)立機(jī)構(gòu)測(cè)試認(rèn)證
l 在潔凈室中進(jìn)行電解拋光，D.I.水處理，裝配，測(cè)試和包裝。
技術(shù)指標(biāo)
低壓手動(dòng)鎖定型隔膜閥
尺 寸 | 1/4" | 3/8"，1/2" |
CV 值 | 0.3 | 0.7 |
孔 徑 | 4.5mm | 7.8mm |
zui大工作壓力（G.） | 17kgf/cm2（1.66MPa） | |
zui大工作溫度 | PCTFE:-10℃-65℃/PFA:-10℃-120℃/PI:-10℃-150℃ | |
內(nèi)泄漏標(biāo)準(zhǔn)（He） 測(cè)試壓力≤1×10-2 Torr 測(cè)試時(shí)間≥30秒 | ≤1×10-9 atm·cc/sec（1×10-10Pa·m3/s） | |
外泄漏標(biāo)準(zhǔn)（He） 測(cè)試壓力≤1×10-2 Torr 測(cè)試時(shí)間≥1分鐘 | ≤1×10-9 atm·cc/sec（1×10-10Pa·m3/s） | |
微粒檢測(cè)（只用于EP） 壓力：60-80PSI N2氣體 樣品流量：1CFM 0.1μm以上 | 無法計(jì)算 | |
選 型 | S | 4 | BDV | VM | IT25 | P | S-4-BDV-VM–IT25-C-P |
閥體材質(zhì) | S |
| S:SUS316單級(jí)； D:SUS316雙級(jí); | ||||
尺 寸 |
| 4 |
| 4：1/4″； 6：3/8″； 8：1/2″； | |||
產(chǎn) 品 |
| BDV |
| BDV; | |||
連 接 |
| VM |
| VM:公VCR； VF:母VCR； SW:卡套； TW：對(duì)焊 | |||
氣流方向 見下圖 | 一路進(jìn)二路出 | IT25 |
| 1T25; 5T12; 1T23; 3T12 | |||
級(jí) 別 |
| P | AP：AP級(jí)； 空白：B*； P：EP級(jí) | ||||
其他材質(zhì) | 底座:PCTFE/PI/PFA; 隔膜:哈氏合金; 手柄:鋁 | ||||||
