【儀表網 行業標準】近日，工業和信息化部電子第五研究所、電子科技大學、中興通訊股份有限公司、成都恩馳微波科技有限公司、廣東生益科技股份有限公司、浙江華正新材料股份有限公司等單位發布了T/CSTM 00990—2023 《毫米波頻段介電常數和介質損耗角正切測試方法 準光腔法》，實施日期2023年7月7日。
 

　　介電常數和介質損耗角正切影響著高速高頻電路的關鍵性能，尤其是在毫米波頻段上。因此，非常有必要建立準確測量毫米波頻段介質基板介電常數和介質損耗角正切的標準方法。
 

　　本文件參照 GB/T 1.1—2020 《標準化工作導則 第 1 部分：標準化文件的結構和起草規則》，GB/T 20001.4—2015《標準編寫規則 第 4 部分：試驗方法標準》的規定起草。
 

　　本文件規定了介質基板毫米波波段的介電常數和介質損耗角正切的準光腔測試方法，包括原理、環境條件、儀器設備、樣品要求、測試步驟、計算公式、系統誤差、注意事項和試驗報告等內容。本文件適用于測試片狀固體材料在毫米波頻段的介電常數和介質損耗角正切。
 

　　原理：
 

　　采用變頻法進行測試，準光腔諧振腔由一個球面鏡和一個平面鏡構成，通過測量空腔和加載樣品后的諧振頻率變化以及腔體品質因數Q值的變化，計算被測樣品的介電常數和介質損耗角正切。
 

　　試驗環境條件如下：
 

　　a) 溫度：23 ℃±2 ℃，試驗時環境溫度的波動不應超過 1 ℃；
 

　　b) 濕度：50 % ±5 %。
 

　　儀器設備：
 

　　所需儀器設備如下：a) 矢量網絡分析儀，頻率范圍：25 GHz~110 GHz；b) 準光腔變溫測試系統，見附錄 B；半對稱結構準光腔測試頻率：25 GHz~110 GHz；空腔品質因子：≥60000；球面鏡粗糙度： 0.1；球面鏡加工要求； 0 10 ；c) 高溫干燥箱，溫度能滿足105−2 ；d) 千分尺，分辨率 0.001 mm 或更好。
 

　　注意事項：
 

　　注意事項如下：a) 定期清潔測試頭、標準物、夾具；b) 定期清理樣品臺，使用柔軟的小毛刷輕拭樣品臺表面，切勿按壓擦拭(若被測樣品如有顆粒粉末灰塵，需在測試完畢后立即對樣品臺進行清理)；c) 保持測試夾具內部環境干燥，可在清理樣品臺后，關閉蓋子放置干燥劑，若有條件的可再充入氮氣1s ~2s；d) 拆卸電纜、波導時，動作輕柔，使用專用工具拆卸；e) 測試過程中應佩戴連接至設備的防靜電手環；f) 連接矢量網絡分析儀電纜時，應使用制造供應商提供的的力矩扳手旋緊；g) 高/低溫測試時，被測樣品不能與樣品臺發生反應。
 

　　試驗報告：
 

　　試驗報告包括但不限于以下內容：a) 對于常溫測試，試驗報告應當包括下列內容：1) 測試環境(溫度、濕度)；2) 測試頻率；3) 樣品厚度；4) 測試頻率下的介電常數和介質損耗角正切值的測試值以及平均值；5) 樣品預處理條件；6) 試驗中的異常情況或與規定程序的差異和偏差。
 

　　b) 對于高/低測試，試驗報告應當包括下列內容：1) 測試環境(溫度、濕度)；2) 測試頻率；3) 樣品厚度；4) 測試溫度(T1、T2)；5) 測試溫度(T1、T2))下的介電常數 Dk(T1)、Dk(T2)和介質損耗角正切 Df(T1)、Df(T2)；6) 介電常數溫度系數 TCDk 和介質損耗角正切溫度系數 TCDf 計算結果；7) 介電常數和介質損耗角正切值的隨溫度變化的曲線圖；8) 樣品預處理條件；9) 試驗中的異常情況或與規定程序的差異和偏差。
 

　　更多詳情請見附件。