【儀表網(wǎng) 儀表科普】微機(jī)電系統(tǒng)，Micro-Electro-Mechanical-SySTems，簡(jiǎn)稱(chēng)MEMS，基于MEMS技術(shù)的加速度傳感器已有30多年的發(fā)展歷史，但因?yàn)榇嬖诩夹g(shù)和成本等客觀發(fā)展因素的限制，未能像電子消費(fèi)產(chǎn)品一樣進(jìn)入市場(chǎng)。目前，由于MEMS加速度傳感器技術(shù)的進(jìn)步，如今低功耗、高性能的MEMS加速度傳感器已經(jīng)改變了市場(chǎng)新的傳感器市場(chǎng)發(fā)展趨勢(shì)。
 

　　mems加速度傳感器特點(diǎn)
 

　　由于傳統(tǒng)的基于機(jī)電工藝制成的傳感器和執(zhí)行器在體型、價(jià)位和產(chǎn)能上不能融入工業(yè)、消費(fèi)電子等領(lǐng)域的需求，MEMS逐漸快速發(fā)展起來(lái)。
 

　　與傳統(tǒng)的傳感器相比較，MEMS傳感器在規(guī)格、性能、自動(dòng)化等層面都具有非常明顯的優(yōu)勢(shì)。比如說(shuō)，在陀螺儀及麥克風(fēng)層面，MEMS技術(shù)的應(yīng)用領(lǐng)域?yàn)橹夹g(shù)升級(jí)帶來(lái)較大跨躍。
 

　　比較1：陀螺儀。傳統(tǒng)的光纖陀螺儀，體型雖然越來(lái)越小，但針對(duì)放入一些電子產(chǎn)品而言是不可能完成的。而且為了確保性能，這樣一個(gè)陀螺儀的產(chǎn)量之低和價(jià)位之高也是顯而易見(jiàn)。
 

　　而我們現(xiàn)在智能手機(jī)上選用的陀螺儀則是MEMS陀螺儀，比如說(shuō)上圖。其體積小、功耗低、易于數(shù)字化和自動(dòng)化，特別是成本低，易于批量生產(chǎn)，非常適合手機(jī)、汽車(chē)牽引控制系統(tǒng)、醫(yī)療器械這些需要大規(guī)模生產(chǎn)的設(shè)備。
 

　　MEMS傳感器發(fā)展趨勢(shì)
 

　　先前，智能手機(jī)、可穿戴設(shè)備等智能硬件快速更新，功能越多而體型越小。這就對(duì)器件的規(guī)格要求極高，推動(dòng)MEMS傳感器向一體化、小型化、自動(dòng)化、低功耗方向快速發(fā)展。隨著應(yīng)用領(lǐng)域的不斷深入，MEMS的快速發(fā)展也有了新的趨勢(shì)。
 

　　近日，意法半導(dǎo)體傳感產(chǎn)品部總監(jiān)SimoneFerri看好汽車(chē)MEMS傳感器將在半導(dǎo)體市場(chǎng)成為下一波的浪潮，他表明，預(yù)估今年MEMS業(yè)務(wù)成長(zhǎng)8%，有消費(fèi)類(lèi)、工業(yè)與汽車(chē)三大應(yīng)用領(lǐng)域，其中有50%以上是消費(fèi)類(lèi)應(yīng)用領(lǐng)域，其余則為工業(yè)與汽車(chē)。
 

　　由于智能手機(jī)、移動(dòng)網(wǎng)絡(luò)、社群媒體等造就了MEMS的第一波的浪潮，接下來(lái)則進(jìn)入“工業(yè)4.0”及自動(dòng)駕駛的時(shí)代，將帶來(lái)MEMS下一波的浪潮。
 

　　就三大應(yīng)用領(lǐng)域而言，SimoneFerri看好汽車(chē)MEMS傳感器市場(chǎng)，預(yù)計(jì)汽車(chē)應(yīng)用領(lǐng)域會(huì)有爆發(fā)性成長(zhǎng)，比如說(shuō)ADAS、車(chē)鑰匙、車(chē)用水平調(diào)整等，都是傳感需求擴(kuò)大的實(shí)例。
 

　　微電子機(jī)械系統(tǒng)是一個(gè)獨(dú)立的智能系統(tǒng)，而MEMS正在掀起一輪新的電子傳感器發(fā)展新浪潮。在此趨勢(shì)之下，未來(lái)，MEMS加速度傳感器的使用性能將越來(lái)越加穩(wěn)定，便捷！