電感耦合等離子體質譜儀以離子源、質量分析器和離子檢測器為核心。離子源是使試樣分子在高真空條件下離子化的裝置。電離后的分子因接受了過多的能量會進一步碎裂成較小質量的多種碎片離子和中性粒子。
它們在加速電場作用下獲取具有相同能量的平均動能而進入質量分析器。質量分析器是將同時進入其中的不同質量的離子，按質荷比m/e大小分離的裝置。
分離后的離子依次進入離子檢測器，采集放大離子信號，經計算機處理，繪制成質譜圖。離子源、質量分析器和離子檢測器都各有多種類型。
連續正弦波電源才能保證這些電子電路的正常工作，儀器供電線路單獨從供電變壓器的配電盤上得到，盡量不與大電機，大的通風機，空調機，馬弗爐等大的用電設備共用一條供電線路，以免在這些用電設備起動時，供電線路的電壓大幅度的波動，造成儀器工作不穩定。
電感耦合等離子體質譜儀按應用范圍分為同位素質譜儀、無機質譜儀和有機質譜儀;按分辨本領分為高分辨、中分辨和低分辨質譜儀;按工作原理分為靜態儀器和動態儀器。
電感耦合等離子體質譜儀整體性能指標優異，該儀器配置自動進樣器，使測試過程更加自動化，提高測試效率;采用的碰撞反應池技術，有效的消除多原子離子干擾，降低易受干擾元素的檢出限;
智能化軟件，集成應用方法包，簡化樣品測試過程，提高測試數據的可靠性。電感耦合等離子體質譜儀已廣泛應用于環境、食品、半導體、核工業、石油化工、礦產、醫藥及生理分析等領域。
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